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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2019-01-29
13:45
東京 機械振興会館 [招待講演]HfO2/SiO2 MOS積層構造中の界面ダイポール変調動作
宮田典幸産総研)・奈良 純山崎隆浩物質・材料研究機構)・住田杏子産総研)・佐野良介野平博司東京都市大SDM2018-87
1分子層程度のTiO2を含むHfO2/SiO2界面から界面ダイポール変調 (IDM, interface dipole ... [more] SDM2018-87
pp.27-30
SDM 2016-06-29
15:05
東京 キャンパス・イノベーションセンター東京 タンタル酸ナノシート/SiO2/Si界面バンドオフセットにおけるUV照射の効果
速水脩平豊田智史福田勝利京大)・菅谷英生パナソニック)・森田将史中田明良内本喜晴松原英一郎京大SDM2016-42
ReRAMの材料設計を行う際の指針として、絶縁層とSi基板の界面バンドオフセットはリーク電流の抑制を考える上で重要なパラ... [more] SDM2016-42
pp.53-58
SDM 2010-11-11
14:40
東京 機械振興会館 [招待講演]金属電極/高誘電率絶縁膜界面の物理を中心としたHigh-k/Metalゲートスタックの実効仕事関数変調機構の理解
細井卓治佐伯雅之喜多祐起奥 雄大有村拓晃北野尚武阪大)・白石賢二山田啓作筑波大)・志村考功渡部平司阪大SDM2010-175
p型電極/高誘電率絶縁膜ゲートスタックでは,電極材料がpoly-Siもしくは金属に関わらず,ソース/ドレイン活性化アニー... [more] SDM2010-175
pp.23-28
SDM 2009-06-19
15:40
東京 東京大学(生産研An棟) LaまたはAl添加によるHfSiOn/SiO2界面のダイポール変調に起因する移動度低下と閾値電圧シフトとの相関関係
辰村光介石原貴光犬宮誠治中嶋一明金子明生後藤正和川中 繁木下敦寛東芝SDM2009-39
high-k/SiO2界面のダイポール変調に起因するリモートクーロン散乱(RCS)による移動度低下と閾値電圧シフト(ΔV... [more] SDM2009-39
pp.71-76
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