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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, OME (共催) |
2016-04-08 16:25 |
沖縄 | 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 | 大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化ゲルマニウム膜の電気特性評価及び高性能薄膜トランジスタの作製 中谷太一・原田大夢・○東 清一郎（広島大）  SDM2016-9 OME2016-9 |
大気圧マイクロ熱プラズマジェット(μ-TPJ)を石英基板上のアモルファスゲルマニウム(a-Ge)膜へ照射し形成した結晶(... [more] | SDM2016-9 OME2016-9 pp.35-38 |
| OME, SDM (共催) |
2015-04-30 13:00 |
沖縄 | 大濱信泉記念館多目的ホール | 大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射アモルファスシリコン細線による結晶成長制御およびCMOS回路の高速駆動 ○森崎誠司・林 将平・山本将悟・中谷太一・東 清一郎（広島大） SDM2015-13 OME2015-13 |
1µmのアモルファスシリコン細線構造を用いることにより大気圧マイクロ熱プラズマジェット(µ-TPJ)... [more] | SDM2015-13 OME2015-13 pp.49-52 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 10:20 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | マイクロ熱プラズマジェット照射によるポーラスシリコン層上Si膜のエピタキシャル成長 ○林 将平・松原良平・藤田悠二・池田弥央・東 清一郎（広島大） SDM2012-14 OME2012-14 |
ポーラスシリコン(PS)層上に堆積したアモルファスシリコン(a-Si)膜を大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射により結晶... [more] | SDM2012-14 OME2012-14 pp.63-66 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-28 10:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | マイクロ熱プラズマジェット結晶化におけるアモルファスシリコン細線及びスリットマスクを用いた結晶成長制御 ○藤田悠二・林 将平・東 清一郎（広島大） SDM2012-15 OME2012-15 |
アモルファスシリコン(a-Si)膜上にシリコンウェハにより作製したスリットマスクを配置し、マイクロ熱プラズマジェット(μ... [more] | SDM2012-15 OME2012-15 pp.67-70 |
| ED, SDM (共催) |
2010-02-22 15:15 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | SiOx薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用 ○岡田竜弥（琉球大）・東 清一郎・牧原克典・広重康夫・宮崎誠一（広島大） ED2009-201 SDM2009-198 |
プラズマCVDにより成膜したSiOx膜(1.0 < x < 1.9)に熱プラズマジェット(TPJ)を照射しミリ秒熱処理を... [more] | ED2009-201 SDM2009-198 pp.29-33 |
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