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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2013-12-13
17:40
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 三フッ化塩素(ClF3)を用いた炭化珪素(SiC)表面の形状変化
堀 良太畑山智亮矢野裕司冬木 隆奈良先端大SDM2013-134
三フッ化塩素を用いてプラズマレスで4°オフ角の炭化珪素ウエーハを化学的にエッチングした。 (0001)Si面および(00... [more] SDM2013-134
pp.107-112
SDM 2012-12-07
10:15
京都 京都大学(桂) 塩素系ガスによるSiCのプラズマレス・エッチング
畑山智亮堀 良太田村哲也矢野裕司冬木 隆奈良先端大SDM2012-116
900℃以上の塩素ガス雰囲気中でプラズマを使わずにSiCをエッチングした。Si原子で終端された(0001)Si面ではエッ... [more] SDM2012-116
pp.7-12
US 2012-09-24
15:10
秋田 秋田大学 手形キャンパス 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価法 ~ 音響特性の仮想温度依存性におけるOHとClの影響 ~
荒川元孝大橋雄二丸山由子櫛引淳一東北大)・堀越秀春森山賢二東ソー・エスジーエムUS2012-62
本報では、超音波マイクロスペクトロスコピー技術による石英ガラスの評価方法について検討を行った。OH濃度およびCl濃度が異... [more] US2012-62
pp.27-32
ED 2009-04-24
13:50
宮城 東北大学電気通信研究所 酸化チタンナノチューブの色素増感太陽電池への応用とその評価
小島領太石橋健一木村康男庭野道夫東北大ED2009-16
過塩素酸を電解液に用い金属チタン基板を陽極酸化することにより高いスペクト比を持つ酸化チタンナノチューブを作製し、その酸化... [more] ED2009-16
pp.69-72
US 2008-09-25
14:30
宮城 東北大学(南講義棟103室) 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による合成石英ガラスの評価
荒川元孝・○島村秀樹櫛引淳一東北大US2008-34
超音波マイクロスペクトロスコピー技術を合成石英ガラスの評価に適用した。音響特性(縦波音速、横波音速、漏洩弾性表面波速度、... [more] US2008-34
pp.13-18
MBE, NC
(併催)
2005-12-09
13:25
愛知 名古屋工業大学 強酸性電解水による抗微生物作用の解析に関する検討
田中敏之菅原俊継黒田 聡有澤準二北海道工大)・紙谷喜則河地基宏剱持雅史ホシザキ電機)・木村主幸北海道工大
強酸性電解水(acidicEW)が示す抗微生物作用は、acidicEW中に存在する塩素系化合物による酸化作用が主体と考え... [more] MBE2005-98
pp.25-28
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