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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2023-11-27 13:45 |
静岡 | 静岡大学 | c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ～ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ～ ○冨山直樹・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（早大）  US2023-49 |
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] | US2023-49 pp.34-39 |
| US | 2019-07-29 15:45 |
北海道 | 北海道大学 | ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 ○宮田昌哉・高柳真司・松川真美（同志社大）・柳谷隆彦（早大） US2019-34 |
厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため，液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することがで... [more] | US2019-34 pp.33-37 |
| US | 2010-09-30 10:50 |
宮城 | 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 | RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～ ○高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2010-62 |
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した（(11-20)面，(10-10) 面配向）ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] | US2010-62 pp.75-80 |
| US | 2009-09-30 09:00 |
北海道 | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 | c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用 ○守里直希・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2009-47 |
本研究では，これまでに電界方向に対してc軸が23°傾いたZnO膜の作製に成功している．この薄膜を用いてc軸の傾斜方向を交... [more] | US2009-47 pp.53-58 |
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