| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催スケジュール |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
すべての研究会開催スケジュール (検索条件: すべての年度)
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| OME, SDM (共催) |
2022-04-23 11:50 |
宮崎 | 高千穂ホール（宮崎市） （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］固相結晶化In2O3:Hによる薄膜トランジスタの高移動度化(>100 cm2V-1s-1) ○曲 勇作（島根大）・片岡大樹（高知工科大）・葉 文昌（島根大）・古田 守（高知工科大）  SDM2022-13 OME2022-13 |
本研究では低温で固相結晶化した水素化多結晶酸化インジウム（In2O3:H）薄膜の金属から半導体への転移に成功し、酸化物半... [more] | SDM2022-13 OME2022-13 pp.61-64 |
| ED | 2010-04-23 10:45 |
山形 | 伝国の杜（米沢） | 有機ゲート絶縁膜を用いたFETの試作とキャリア輸送特性評価 ○橋本将貴・鈴木貴彦・廣瀬文彦（山形大） ED2010-14 |
我々は多結晶Si中の粒界の電荷輸送への影響を調査するために、150ºC以下でSiFETを低温形成し電気特性評価... [more] | ED2010-14 pp.61-65 |
| CPM | 2009-10-29 14:50 |
富山 | 富山県立大学 | 有機絶縁膜を用いたシリコンTFTの低温形成 ○橋本将貴・鈴木貴彦・成田 克・廣瀬文彦（山形大） CPM2009-91 |
我々は多結晶Siに特有な粒界を横切る電荷の輸送機構を評価する為に、SiFETの製作プロセスの低温化に取り組んだ。具体的に... [more] | CPM2009-91 pp.9-11 |
| CPM | 2009-08-11 11:15 |
青森 | 弘前大学 | 3次元Si貫通ビアに適用可能なバリヤ膜の新規成膜手法の有用性 ～ 低温作製されたZrNx膜の特性評価 ～ ○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2009-44 |
Si-ULSI の3 次元Si 貫通ビア配線にとって，最も重要な要件の一つが200℃以下の低温プロセスである．本研究では... [more] | CPM2009-44 pp.57-60 |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]