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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| ED, CPM, SDM (共催) |
2015-05-28 14:15 |
愛知 | 豊橋技科大VBL棟 | 分子線エピタキシー法により成長したInGaNナノプレートの光学特性 ○光野徹也（静岡大）・酒井 優（山梨大）・岸野克巳（上智大）・原 和彦（静岡大）  ED2015-19 CPM2015-4 SDM2015-21 |
直径50-200 nm、高さ1500 nmのGaNナノ支柱状結晶上に直径が200-800 nm程度で厚さが50 nmの極... [more] | ED2015-19 CPM2015-4 SDM2015-21 pp.17-19 |
| CPM | 2013-08-02 10:55 |
北海道 | 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 | シリコン貫通ビアに適用可能なナノ結晶組織を有するHfNx膜のバリヤ特性 ○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2013-51 |
高性能な3次元LSIを実現するためには、シリコン貫通ビア配線(TSV)が重要な要素技術となる。我々は、TSVに適用できる... [more] | CPM2013-51 pp.63-68 |
| ED | 2012-11-20 09:55 |
大阪 | 阪大中之島センター | nc-Si MOS冷陰極からの電子放射における光照射効果 ○嶋脇秀隆（八戸工大）・根尾陽一郎・三村秀典（静岡大）・若家冨士男・高井幹夫（阪大） ED2012-61 |
微小電子源から高周波変調されたバンチビームを発生させることを目的として、p-Si基板を用いたnc-Si MOS冷陰極に光... [more] | ED2012-61 pp.37-40 |
| CPM | 2012-08-09 09:25 |
山形 | 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 | 反応性スパッタによるZrNxナノ結晶バリヤ膜の形成過程 ○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2012-44 |
Cu多層配線は微細化に伴い、数nmオーダーの膜厚の拡散バリヤ膜が要請され、かつ優れたバリヤ性を実現する必要がある。我々は... [more] | CPM2012-44 pp.45-49 |
| EID, ITE-IDY, IEE-EDD, IEIJ-SSL (連催) |
2011-01-28 14:25 |
高知 | 高知工科大学 研究教育棟B | トップエミッション型液相合成ZnOナノ結晶紫外発光EL素子の電流電圧特性 ○板谷和樹・河崎勇人・外山利彦・岡本博明（阪大） EID2010-30 |
液相法により合成したZnOナノ結晶を発光層に用いたトップエミッション型EL素子を作製し，その電流電圧特性を評価した． 発... [more] | EID2010-30 pp.37-40 |
| ED, SDM (共催) |
2010-02-22 15:15 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | SiOx薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用 ○岡田竜弥（琉球大）・東 清一郎・牧原克典・広重康夫・宮崎誠一（広島大） ED2009-201 SDM2009-198 |
プラズマCVDにより成膜したSiOx膜(1.0 < x < 1.9)に熱プラズマジェット(TPJ)を照射しミリ秒熱処理を... [more] | ED2009-201 SDM2009-198 pp.29-33 |
| ITE-IDY, EID, IEIJ-SSL, IEE-EDD (共催) |
2010-01-28 14:15 |
福岡 | 九州大学(筑紫地区) | 液相合成n-ZnOナノ結晶/p-ペンタセンヘテロ接合型紫外発光EL素子 ○河崎勇人・竹内久純・外山利彦・岡本博明（阪大） EID2009-54 |
ワイドギャップ・強励起子結合エネルギー材料であるZnOは，高安定な紫外発光材料であり，蛍光体励起光源としてディスプレイ応... [more] | EID2009-54 pp.29-32 |
| OME | 2009-03-13 14:00 |
宮城 | 東北大（多元研大会議室） | 形態制御・相変換可能なC60微結晶の作製と評価 ○増原陽人（東北大）・譚 振権（阪大）・笠井 均（東北大/JST）・中西八郎・及川英俊（東北大） OME2008-103 |
本研究では、当研究室で開発した「再沈法」1を改良した「SP再沈法」を用いて、フラーレン（特にC60）微結晶のサイズ・形態... [more] | OME2008-103 pp.11-16 |
| ED | 2008-08-04 14:15 |
静岡 | 静岡大学浜松キャンパス | シリコン微結晶面放射型冷陰極の電子放射特性 ○嶋脇秀隆・木田 庸（八戸工大）・根尾陽一郎・三村秀典（静岡大）・村上勝久・若家富士夫・高井幹夫（阪大） ED2008-112 |
極薄酸化膜で被覆されたナノ結晶シリコン（nc-Si）からなる面放射型冷陰極を製作し、電子放射特性および放射電子のエネルギ... [more] | ED2008-112 pp.15-20 |
| OME | 2008-01-25 16:10 |
愛知 | 愛知工業大学 | バナジルフタロシアニンナノ結晶の最適化とその電気伝導特性 ○元谷 卓・落合鎮康・小嶋憲三・水谷照吉（愛知工大） OME2007-82 |
KBr基板上にバナジルフタロシアニン(VOPc)ナノ結晶分子線エピタキシ法を用いて作成した。作成されたバナジルフタロシア... [more] | OME2007-82 pp.49-54 |
| CPM | 2007-11-16 16:35 |
新潟 | 長岡技術科学大学 | ZrNバリヤを用いたCu/層間絶縁膜間の界面制御 武山真弓・○佐藤 勝・野矢 厚（北見工大） CPM2007-112 |
ナノ結晶組織からなるN-rich 組成のZrN 薄膜をCu とSiO2 間の極薄拡散バリヤとして適用し、そのバリヤ特性を... [more] | CPM2007-112 pp.39-42 |
| LQE, PN, OPE, OFT, EMT (共催) |
2006-02-01 15:45 |
兵庫 | 神戸大学 | Si ・Erを共添加したSiO2膜の導波路型光増幅器への応用 ○住友雅彦・安達哲也・村上圭太（神戸大）・森脇和幸（神戸大/JST）・藤井 稔・林 真至（神戸大）・渡辺 啓（NTT） |
SiとErを共添加した$SiO_2$膜の光導波路型増幅器への応用を目的として、Si濃度およびEr濃度を変化させ、励起光照... [more] | PN2005-83 OFT2005-70 OPE2005-131 LQE2005-146 pp.73-76 |
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