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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-10-13 13:00 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | ［招待講演］UVナノインプリントリソグラフィーの欠陥低減 ○伊藤俊樹（キヤノン）  SDM2023-54 |
半導体デバイス製造への適用を目指して、インクジェット吐出型UVナノインプリント技術を開発中である。従来はレジストドロップ... [more] | SDM2023-54 pp.1-6 |
| CPM, LQE, ED (共催) |
2019-11-22 10:00 |
静岡 | 静岡大学（浜松） | 有機太陽電池用反射防止ナノテクスチャに関する実験検討 ○平賀健太・久保田 繁・鹿又健作・有馬ボシールアハンマド（山形大）・水野 潤（早大）・廣瀬文彦（山形大） ED2019-48 CPM2019-67 LQE2019-91 |
有機太陽電池は低コストで軽量、フレキシブルに作製できるといった優れた特徴を有するため、次世代の太陽電池として注目されてい... [more] | ED2019-48 CPM2019-67 LQE2019-91 pp.65-68 |
| SDM | 2019-02-07 10:45 |
東京 | 東京大学/本郷 工学部４号館 42講義室 | ［招待講演］ナノインプリントによるハーフピッチ14nm直接パターニング ○中杉哲郎（東芝メモリ） SDM2018-91 |
本稿ではIEDM2018で報告したNILシングル露光によるhp14nmパターン形成技術について報告する。従来課題とされて... [more] | SDM2018-91 pp.1-4 |
| SDM | 2019-01-29 14:50 |
東京 | 機械振興会館 | ［招待講演］ナノインプリントによるハーフピッチ14nm直接パターニング ○中杉哲郎（東芝メモリ） SDM2018-88 |
本稿ではIEDM2018で報告したNILシングル露光によるhp14nmパターン形成技術について報告する。従来課題とされて... [more] | SDM2018-88 pp.31-34 |
| ED, LQE, CPM (共催) |
2018-11-29 15:15 |
愛知 | 名古屋工業大学 | ナノインプリントによるモスアイ構造作製法に関する評価実験 ○平賀健太・久保田 繁・鹿又健作・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦（山形大） ED2018-37 CPM2018-71 LQE2018-91 |
近年、ナノインプリントはナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの微細なパターンを容易に複製できるため、注目されてい... [more] | ED2018-37 CPM2018-71 LQE2018-91 pp.21-26 |
| ITE-IDY, IEE-EDD (共催) IEIJ-SSL, SID-JC (共催) EID (連催) [詳細] |
2018-01-26 09:50 |
静岡 | 静岡大学 浜松キャンパス | ナノインプリントリソグラフィを用いたV溝構造を有する液晶素子の基礎検討 ○春名皓太・岡田裕之（富山大） EID2017-41 |
フレキシブル液晶パネルへ適用可能なノンラビング配向法として、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)を用い超微細V溝構造を... [more] | EID2017-41 pp.65-68 |
| SDM, EID (共催) |
2017-12-22 10:30 |
京都 | 京都大学 | 薄型結晶シリコン太陽電池に向けたナノインプリントテクスチャの光閉じ込め効果 ○中井雄也・石河泰明・浦岡行治（奈良先端大） EID2017-11 SDM2017-72 |
薄型結晶シリコン太陽電池の実現には光吸収層内での光り閉じ込め効果が重要であり，光の多重反射を目的としたテクスチャを形成す... [more] | EID2017-11 SDM2017-72 pp.1-4 |
| ICD | 2017-04-20 13:00 |
東京 | 機械振興会館 | ［招待講演］ナノドット型恒久メモリーの研究 ○渡邊 強・三浦典之・劉 施佳・今井繁規・永田 真（神戸大） ICD2017-4 |
ワード線、ビット線の交差部分に配したナノドットの静電容量をデータとして読み取る恒久メモリーを考案し、0.18᠊... [more] | ICD2017-4 pp.17-22 |
| ED, SDM (共催) |
2017-02-24 10:50 |
北海道 | 北海道大学百年記念会館 | 溶液法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製および熱ナノインプリント法による酸化物薄膜のダイレクトパターニング ○木村史哉・アブドゥラ ハナキ・孫 屹・佐々木祥太・永山幸希・小山政俊・前元利彦・佐々誠彦（阪工大） ED2016-132 SDM2016-149 |
酸化亜鉛(ZnO)は3.37 eVのエネルギーバンドギャップを有するため，可視光領域において透明である．また，次世代ディ... [more] | ED2016-132 SDM2016-149 pp.13-16 |
| LQE, ED, CPM (共催) |
2014-11-27 14:05 |
大阪 | 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 | 窒化物LED高効率化のためのナノインプリントとドライエッチングによる微細加工制御技術 ○鹿嶋行雄・松浦恵里子（丸文）・嶋谷 聡（東京応化）・小久保光典・田代貴晴・大川貴史（東芝機械）・上村隆一郎・長田大和（アルバック）・藤川紗千恵・平山秀樹（理研） ED2014-79 CPM2014-136 LQE2014-107 |
フォトニック結晶を窒化物ＬＥＤに形成し、光取出し効率を向上した結果を示す。また、シミュレーションによるフォトニック結晶の... [more] | ED2014-79 CPM2014-136 LQE2014-107 pp.27-32 |
| LQE, ED, CPM (共催) |
2014-11-27 14:30 |
大阪 | 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 | ナノインプリントリソグラフィを用いたナノチャネルFIELO法により作製されたGaNテンプレートの2次元歪みマッピング ○南部優賢・山口敦史（金沢工大）・後藤裕輝・砂川晴夫・松枝敏晴（古河機械金属）・岡田愛姫子（早大）・篠原秀敏・後藤博史（東芝機械）・水野 潤（早大）・碓井 彰（古河機械金属） ED2014-80 CPM2014-137 LQE2014-108 |
白色LEDにおいて大電流領域で効率が低下する現象（Droop現象）を抑制する１つの手法として，下地のGaN膜（基板）の高... [more] | ED2014-80 CPM2014-137 LQE2014-108 pp.33-38 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2014-07-17 13:25 |
東京 | 東京工業大学 | 電析初期過程の解析に基づく超高記録密度ナノドットアレイの形成及び高保磁力化 ○萩原弘規・ヴォダルツ ジギー・大谷智博・西家大貴（早大）・Giovanni Zangari（ヴァージニア大）・本間敬之（早大） MR2014-9 |
我々は，電気化学的手法である電解析出法とリソグラフィ技術を組み合わせ，次世代型の磁気記録媒体として期待されるビットパター... [more] | MR2014-9 pp.7-10 |
| MRIS, ITE-MMS (連催) |
2013-11-15 13:25 |
東京 | 早稲田大学 | 電気化学的手法による超高記録密度強磁性ナノドットアレイの形成及び析出挙動の解析 ○ヴォダルツ ジギー・間庭佑太・萩原弘規・大谷智博・西家大貴（早大）・Giovanni Zangari（ヴァージニア大）・本間敬之（早大） MR2013-20 |
電解析出法とリソグラフィによりhcp-Co80-Pt20及びL10-Fe-Ptの薄膜とナノドットアレイをhcp-Ru(0... [more] | MR2013-20 pp.7-10 |
| OME | 2013-10-11 10:40 |
大阪 | 阪大中之島センター | 有機トランジスタを使用したRFID用アクティブアンテナの作製 ○長谷川 奨・磯田俊介・橋詰貴裕・山内 博・國吉繁一・酒井正俊・工藤一浩・飯塚正明（千葉大） OME2013-53 |
本研究では、低コストな印刷プロセスに向けたRFIDタグの作製に向け、段差型有機トランジスタとアンテナを一体化したRFID... [more] | OME2013-53 pp.11-16 |
| OME, SDM (共催) |
2013-04-25 15:45 |
鹿児島 | 屋久島環境文化村センター | 微細構造が転写された有機フレキシブルシート表面へのOP9細胞の培養評価 ○前之園裕隆・齊藤博文・西岡泰城（日大） SDM2013-8 OME2013-8 |
再生医療技術の進展に伴って,任意の形状を持つ構造体への細胞培養の研究は注目を集めている.そのため,細胞を培養するためのデ... [more] | SDM2013-8 OME2013-8 pp.37-42 |
| ED, LQE, CPM (共催) |
2012-11-30 11:50 |
大阪 | 大阪市立大学 | サファイア基板上へのモスアイ構造の形成方法の検討およびLEDへの応用 ○土屋貴義・梅田慎也・曽和美保子（名城大）・近藤俊行・北野 司・森 みどり・鈴木敦志・難波江宏一・関根 均（エルシード）・岩谷素顕・竹内哲也・上山 智・赤サキ 勇（名城大） ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 |
LEDおいて高い光取り出し効率が期待されるモスアイ加工サファイア基板(Moth-eye patterned sapphi... [more] | ED2012-82 CPM2012-139 LQE2012-110 pp.75-80 |
| SDM | 2011-12-16 14:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | ゲル－ナノインプリントプロセスによるZnO－2次元フォトニック結晶の作製 ○張 敏・荒木慎司・呂 莉・堀田昌宏・西田貴司・石河泰明・浦岡行治（奈良先端大） SDM2011-140 |
本研究では、プリント技術によるナノ構造体を持った酸化亜鉛（ZnO）形成を目指し、スピンコート法を利用したZnOゲル膜形成... [more] | SDM2011-140 pp.43-46 |
| OPE, OME (共催) |
2011-11-18 15:00 |
東京 | 機械振興会館 | 周期構造がインプリントされた高分子フィルムの光学基本特性の規格化周期依存性 ○西 勝也（長岡技科大）・岡田 真・松井真二・川月喜弘（兵庫県立大）・小野浩司（長岡技科大） OME2011-62 OPE2011-137 |
ナノインプリント技術における近年の強い興味の一つとして、複屈折や光波の回折を高度に制御するミクロ・ナノ構造を容易に形成で... [more] | OME2011-62 OPE2011-137 pp.25-30 |
| OPE, OME (共催) |
2011-11-18 15:25 |
東京 | 機械振興会館 | ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製 ○吹山雅浩・山内 博・飯塚正明・酒井正俊・工藤一浩（千葉大） OME2011-63 OPE2011-138 |
有機トランジスタを低駆動電圧、大電流で動作させるためには短チャネル化が有効である。そこで我々は、段差構造を利用することで... [more] | OME2011-63 OPE2011-138 pp.31-36 |
| OME | 2010-10-22 14:40 |
東京 | NTT武蔵野研究開発センター | ラジカル系光硬化樹脂に対するフッ化炭化水素鎖含有吸着単分子膜のはく離特性 ○鴻野晃洋・中川 勝（東北大） OME2010-50 |
光ナノインプリントは，石英ナノモールドを光硬化性樹脂に押し付け，10 nmレベルの微細構造を再現性よく転写する技術である... [more] | OME2010-50 pp.21-25 |
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