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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
OME 2020-02-28
15:20
鹿児島 奄美市名瀬公民館 ナノ粒子埋め込みカーボン薄膜電極の電気化学特性と応用
丹羽 修埼玉工大)・芝 駿介愛媛大)・高橋将太小池綾香大谷和也太田早紀埼玉工大)・鎌田智之加藤 大産総研OME2019-67
金属とカーボンを同時にスパッタすることで、金属ナノ粒子が埋め込まれたカーボン薄膜電極を形成することができる。埋め込まれた... [more] OME2019-67
pp.9-12
SDM 2019-10-23
14:20
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F Hf界面層を用いた強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成
片岡正和林 将生キム ミンギ大見俊一郎東工大SDM2019-54
本研究では、ノンドープHfO2薄膜を用いた強誘電体ゲートFETの実現を目的として、Hf界面層の導入による低誘電率SiO2... [more] SDM2019-54
pp.7-10
CPM 2019-08-26
14:20
北海道 北見工業大学 1号館2F A-207講義室 スパッタ法によるAZO膜堆積のための導電性酸化物焼結ターゲットの作製
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2019-39
本検討では,1500℃及び1600℃にて焼結させたZnOに2wt.%のAl2O3を添加した導電性を有するAZO焼結体を作... [more] CPM2019-39
pp.9-12
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-01
14:50
新潟 まちなかキャンパス長岡 スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎坪井 望新潟大CPM2018-45
Ⅲ族元素をドープしたZnOの薄膜は,低抵抗の膜となることから,ITO薄膜に代わる透明導電膜用材料として注目されている。そ... [more] CPM2018-45
pp.21-24
CPM 2017-07-22
11:33
北海道 北見工業大学第一総合研究棟2F多目的講義室 [招待講演]薄膜電子材料開発のための低ダメージスパッタ成膜技術開発の歩み
星 陽一東京工芸大CPM2017-38
著者は43年前に、始めてスパッタ法を用いてYIG膜の作製を試みる機会が与えられた。酸素負イオンや2次電子衝撃のために所望... [more] CPM2017-38
pp.89-94
US 2015-09-03
15:20
北海道 第一滝本館
(北海道登別)
低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用
高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大)・Jean-Claude GerbedoenAbdelkrim TalbiIEMN)・松川真美同志社大)・Philippe PernodIEMNUS2015-50
ZnO薄膜はSAWフィルタなど様々な圧電デバイスに応用されてきたが,その多くは(0001)面に優先配向を持つ.一方,(1... [more] US2015-50
pp.25-30
IEIJ-SSL, SID-JC
(共催)
EID, ITE-IDY, IEE-EDD
(連催) [詳細]
2014-01-25
10:20
新潟 新潟大学 駅南キャンパス 透明有機EL素子における陰極構造の検討
佐野弘尚中 茂樹岡田裕之富山大EID2013-25
透明有機ELにおける陰極構造の検討を行った。陰極構造として金属薄膜/MoO3/IZO構造を導入し、MoO3によるIZOス... [more] EID2013-25
pp.101-104
MRIS, ITE-MMS
(連催)
2013-11-15
15:45
東京 早稲田大学 大きな垂直磁気異方性を持つCoフェライト薄膜の成長と特性 ~ 新しい磁気記録媒体の提案 ~
喜多英治柳原英人筑波大)・新関智彦東北大)・鈴木和也筑波大MR2013-22
レアメタルを含まないスピネル型酸化物強磁性の電子材料への応用を目的に、スパッタ法による高品位な薄膜成長を行った。鉄酸化物... [more] MR2013-22
pp.23-28
ITE-IDY, EID, IEE-EDD
(連催)
2013-01-24
15:08
静岡 静岡大学 Alq3膜上へのスパッタリング薄膜の作製とその発光効率への影響
稲富雅彰飯村靖文東京農工大EID2012-20
現在、有機ELディスプレイは液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの他のディスプレイに対して、高コントラスト、高視野... [more] EID2012-20
pp.45-48
CPM 2012-10-26
14:15
新潟 まちなかキャンパス長岡 スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討
名越克仁富口祐輔清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎坪井 望野本隆宏新潟大CPM2012-95
本研究では,市販ターゲットを用い,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法による膜堆積時の基板温度変化や堆積... [more] CPM2012-95
pp.13-16
CPM 2012-10-27
09:35
新潟 まちなかキャンパス長岡 熱処理法によるSrAl2O4: Eu, Dy薄膜用下地膜の検討
小林和晃清水英彦岩野春男福嶋康夫川上貴浩新潟大CPM2012-105
本研究では,マグネトロンスパッタ法により,室温にて酸化Al下地膜を堆積させた後,対向ターゲット式スパッタ法により室温にて... [more] CPM2012-105
pp.65-69
US 2012-09-24
14:45
秋田 秋田大学 手形キャンパス RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製
生駒 遼同志社大)・柳谷隆彦名工大)・高柳真司同志社大)・鈴木雅視名工大)・小田川裕之熊本高専)・松川真美同志社大US2012-61
ZnO結晶のc軸方向には極性があり,通常,スパッタ法などで作製したc軸配向ZnO薄膜は成長終端がZn極性面となるように成... [more] US2012-61
pp.21-25
CPM 2011-10-26
13:50
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性
樫出 淳名越克仁富口祐輔清水英彦岩野春男川上貴浩永田向太郎福嶋康夫坪井 望野本隆宏新潟大CPM2011-111
本研究では,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法(低電圧スパッタ法)に注目し,この方法により室温にてAZ... [more] CPM2011-111
pp.11-15
CPM 2011-08-11
09:25
青森 弘前大学 文京町キャンパス RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の作製
梅原 猛野毛 悟沼津高専CPM2011-67
RFマグネトロンスパッタ法によるAZO薄膜の成膜条件に関する検討結果について報告する.放電ガスAr中に反応性ガス$O_2... [more] CPM2011-67
pp.55-60
EMD, CPM, OME
(共催)
2011-06-30
11:15
東京 機械振興会館 マグネトロンスパッタ法で作製したZnO系透明導電膜の電気的特性に対するバッファレイヤー挿入効果
野本淳一平野友康宮田俊弘南 内嗣金沢工大EMD2011-11 CPM2011-47 OME2011-25
直流マグネトロンスパッタ法を用いて作製するZnO系透明導電膜の基板上での抵抗率分布の改善及び低抵抗率化を目的として、極め... [more] EMD2011-11 CPM2011-47 OME2011-25
pp.17-21
EMD, CPM, OME
(共催)
2011-06-30
14:40
東京 機械振興会館 マグネトロンスパッタ法による薄膜太陽電池用AZO透明導電膜の作製
平野友康野本淳一宮田俊弘南 内嗣金沢工大EMD2011-13 CPM2011-49 OME2011-27
マグネトロンスパッタ法で作製するAl添加酸化亜鉛(AZO)透明導電膜を薄膜太陽電池用透明電極用途へ適合化することを目的と... [more] EMD2011-13 CPM2011-49 OME2011-27
pp.29-33
EMD, CPM, OME
(共催)
2011-06-30
16:55
東京 機械振興会館 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性
樫出 淳名越克仁清水英彦岩野春男川上貴浩永田向太郎福嶋康夫坪井 望野本隆宏新潟大EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32
本研究では,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と,ターゲットの焼結温度に注目し,高エネルギー粒子が膜に... [more] EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32
pp.59-63
CPM 2010-10-28
17:05
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 FTS法にUBMS法を組み合わせた方法によるSrAl2O4:Eu, Dy薄膜の作製
久野敬史齋藤 稔小林和晃清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2010-97
本研究では,通常の対向ターゲット式スパッタ(FTS)法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ(UBMS)法を組... [more] CPM2010-97
pp.33-37
CPM 2010-10-29
11:50
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 スパッタ法を用いた有機EL素子用低温堆積ITO薄膜の検討
中村陽平劉 暢清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大CPM2010-105
本研究では,低温成膜したITO薄膜のデバイス応用への有効性を検討するため,アンバランスドマグネトロンスパッタ法に基板バイ... [more] CPM2010-105
pp.71-75
US 2010-09-30
10:50
宮城 東北大学 工学部 電子情報システム・応物系 南講義棟103会議室 RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ~ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ~
高柳真司同志社大)・柳谷隆彦名工大)・松川真美渡辺好章同志社大US2010-62
c軸が基板面と平行かつ一方向に配向した((11-20)面,(10-10) 面配向)ZnO薄膜を用いた共振子は横波を励振す... [more] US2010-62
pp.75-80
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