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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2011-07-04
16:20
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) RFスパッタ形成したSi酸化膜を用いたMIMキャパシタの抵抗変化特性
大田晃生後藤優太西垣慎吾Guobin Wei村上秀樹東 清一郎広島大)・宮崎誠一名大
RFスパッタにより形成したSiOx (厚さ:8~40nm)をPt電極で挟んだMIMキャパシタにおいて、電圧掃引による電流... [more] SDM2011-67
pp.97-102
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