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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
EMD, CPM, LQE, OPE
(共催)
2006-08-25
15:20
北海道 千歳アルカディア・プラザ 高周波駆動法によるMEMSミラードリフトレス化の研究
根本 成山口城治笹倉久仁彦NTT
光スイッチなどで注目を集めている静電駆動型MEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラ... [more] EMD2006-46 CPM2006-76 OPE2006-88 LQE2006-53
pp.113-117
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