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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2008-04-11
10:35
沖縄 沖縄県青年会館 ガラス基板上の不純物ドープSi薄膜のアニールによる電気的活性化
野口 隆宮平知幸川井健司琉球大)・鈴木俊治佐藤正輝SENSDM2008-4 OME2008-4
高濃度にホウ素やリンをドープしたSi薄膜に対して、紫外光でパルスであるエキシマレーザアニール(ELA)が施され、その導電... [more] SDM2008-4 OME2008-4
pp.17-22
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