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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, EID
(共催)
2014-12-12
14:45
京都 京都大学 GaSnO薄膜の特性評価
加藤雄太西本大樹松田時宜木村 睦龍谷大EID2014-28 SDM2014-123
RFマグネトロンスパッタリング法により組成比の異なる2種類のGaSnO(GTO)薄膜をそれぞれ成膜圧力を変えて作製し、特... [more] EID2014-28 SDM2014-123
pp.79-82
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