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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED 2008-08-05
09:50
静岡 静岡大学浜松キャンパス シリコン微小電子源のイオンビーム空間電荷中和への応用
竹内光明JSTイノベーションプラザ京都)・後藤康仁辻 博司京大)・酒井滋樹日新イオン機器)・木本恒暢石川順三京大ED2008-119
半導体イオン注入用極低エネルギーイオンビームの発散抑制を目的として、シリコン微小電子源(Si-FEA)を用いたイオンビー... [more] ED2008-119
pp.49-52
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