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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2018-08-10
11:05
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si基板上SiO2薄膜の電子線照射による還元反応
藤森敬典千田陽介増田悠右氏家夏樹遠田義晴弘前大
20 nm~100 nm厚のSiO_{2}膜を有するSi(100)表面に様々な条件で電子線照射し、その後フッ酸処理や真 ... [more] CPM2018-18
pp.47-52
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