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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ICD, CPM
(共催)
2005-01-27
13:30
東京 機械振興会館 90nmデバイスのLVP測定容易性評価とLVP測定用素子の開発
野中淳平和田慎一NECエレクトロニクス
90nm以降のプロセスでは、トランジスタサイズがLVPで使用されるレーザ波長の回折限界に到達するため、LVP測定が困難に... [more] CPM2004-156 ICD2004-201
pp.7-12
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