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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2009-10-30
09:25
富山 富山県立大学 タングステンメッシュにより生成した高密度水素ラジカルアニールによるZnO:Al薄膜の低抵抗化
大島 穣田原将巳モハマド ハニフ長岡技科大)・片桐裕則新保和夫長岡高専)・黒木雄一郎高田雅介・○安井寛治長岡技科大CPM2009-97
第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いて堆積したAl ドープZnO(AZO)膜を水素プラズマアニール処
理す... [more]
CPM2009-97
pp.37-41
CPM 2008-10-30
14:30
新潟 新潟大学 第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化
大島 穣牧野雄一郎長岡技科大)・片桐裕則新保和夫長岡高専)・黒木雄一郎安井寛治高田雅介赤羽正志長岡技科大CPM2008-78
Alドープ酸化亜鉛 (AZO)の堆積において第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いることで従来のrfマグネトロ... [more] CPM2008-78
pp.19-22
CPM 2007-11-16
14:20
新潟 長岡技術科学大学 第三電極を有するRFマグネトロンスパッタ法によるZnO透明導電膜特性の均一性評価
朝野 章長岡技科大)・片桐裕則長岡高専)・黒木雄一郎安井寛治高田雅介赤羽正志長岡技科大CPM2007-108
我々は第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法により作製したAlドープ酸化亜鉛について研究をしてきた。マグネトロンスパ... [more] CPM2007-108
pp.19-22
CPM 2007-11-17
09:00
新潟 長岡技術科学大学 ホットメッシュCVD法によるGaN成長 ~ ルテニウムコーティッドタングステンメッシュの効果 ~
深田祐介安部和貴黒木雄一郎長岡技科大)・末光眞希伊藤 隆東北大)・成田 克九工大)・遠藤哲郎東北大)・中澤日出樹弘前大)・高田雅介安井寛治赤羽正志長岡技科大CPM2007-115
 [more] CPM2007-115
pp.55-58
CPM 2006-08-07
16:15
岩手 岩手大学 Hot-Mesh CVD法を用いたSOI基板上への3C-SiC低温エピタキシャル成長
三浦仁嗣栗本大詩黒木雄一郎安井寛治高田雅介赤羽正志長岡技科大
 [more] CPM2006-46
pp.31-36
CPM 2006-08-07
16:40
岩手 岩手大学 Hot-mesh CVD法によるAlNバッファー層を用いたSiC/Si(111)上へのGaN成長
田村和之深田祐介黒木雄一郎高田雅介安井寛治赤羽正志長岡技科大
 [more] CPM2006-47
pp.37-41
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