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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2023-11-27
13:45
静岡 静岡大学 c軸平行配向ZnO膜の面内配向性及び圧電性の向上と厚みすべりモード共振子への応用 ~ 基板への粒子照射方向を制限したスパッタ成膜に関する検討 ~
冨山直樹高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2023-49
c軸が基板に対して平行に揃ったZnO膜は横波を励振でき、厚みすべりモード共振子に適している。この薄膜はRFマグネトロンス... [more] US2023-49
pp.34-39
MIKA
(第三種研究会)
2023-10-10
15:35
沖縄 沖縄県市町村自治会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[ポスター講演]RFフィルタ向けエピタキシャル圧電薄膜多層構造
渡海 智柳谷隆彦早大
スマートフォンに代表される無線通信デバイスには、複数の無線周波数から所望の周波数のみを選択し送受信するための周波数フィル... [more]
US 2020-09-28
15:15
ONLINE オンライン開催 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較
龍見亮汰柳谷隆彦早大US2020-37
電気機械結合係数(kt2)は圧電薄膜デバイスの性能を決定づけるパラメータの1つである。例えば、kt2が大きいほど、スマー... [more] US2020-37
pp.57-60
US 2018-05-21
15:20
東京 機械振興会館 レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子
唐澤 嶺柳谷隆彦早大US2018-15
 [more] US2018-15
pp.23-27
US 2017-04-27
16:50
東京 電気通信大学 電気機械結合係数kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ
佐野耕平唐澤 嶺早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2017-12
 [more] US2017-12
pp.59-63
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