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 23件中 1~20件目  /  [次ページ]  
研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM, OME
(共催)
2023-04-22
10:05
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
Neを用いてガラス上にスパッタ堆積したInSb膜のRTAによる結晶化
岡田竜弥チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー琉球大)・梶原隆司佐道泰造九大)・野口 隆琉球大SDM2023-8 OME2023-8
安価な絶縁基板上への高結晶性InSb膜の形成に向けて、ArガスおよびNeガスを用いたRFスパッタリング法により製膜したI... [more] SDM2023-8 OME2023-8
pp.30-31
SDM, OME
(共催)
2023-04-22
10:30
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
スパッタ堆積InSb薄膜/ガラス基板の急速熱処理法による結晶成長
梶原隆司九大)・岡田竜弥チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー野口 隆琉球大)・佐道泰造九大SDM2023-9 OME2023-9
高移動度InSb薄膜の低コストな形成プロセスの創出を目指し、ガラス基板上へArプラズマを用いてスパッタ成膜したInSb膜... [more] SDM2023-9 OME2023-9
pp.32-33
SDM, OME
(共催)
2020-04-13
14:00
沖縄 沖縄県青年会館
(開催中止,技報発行なし)
青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属ソース/ドレイン構造TFT
岡田竜弥野口 隆琉球大
これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることでa-Si 膜が結晶化可能であり、平坦な結晶化Si ... [more]
SDM, OME
(共催)
2018-04-07
10:40
沖縄 沖縄県青年会館 [招待講演]金属ソース/ドレイン構造の低温ポリSi TFTs
野口 隆岡田竜也琉球大SDM2018-4 OME2018-4
 [more] SDM2018-4 OME2018-4
pp.15-18
SDM, OME
(共催)
2016-04-08
16:50
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT
原田大成我喜屋風太安次富卓哉岡田竜弥野口 隆琉球大)・野田勘治諏訪 輝ギガフォトン)・池上 浩九大)・奥山哲雄東洋紡SDM2016-10 OME2016-10
 [more] SDM2016-10 OME2016-10
pp.39-41
SDM, OME
(共催)
2016-04-08
17:15
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 パネル上システムのための青色半導体レーザアニーリングにより形成された高光伝導性シリコン薄膜
コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ中尾浩太岡田竜弥野ロ 隆琉球大SDM2016-11 OME2016-11
 [more] SDM2016-11 OME2016-11
pp.43-47
SDM, OME
(共催)
2016-04-09
11:40
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 ポリシリコンTFTのスパッタSiO2ゲート絶縁膜への低温アニール効果
玉城 光井村公彦岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2016-16 OME2016-16
 [more] SDM2016-16 OME2016-16
pp.67-69
SDM, OME
(共催)
2016-04-09
12:05
沖縄 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 レーザーアニール技術の高性能パワーMOSFETsプロセスへの応用
陳 訳岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2016-17 OME2016-17
 [more] SDM2016-17 OME2016-17
pp.71-75
OME, SDM
(共催)
2015-04-30
13:25
沖縄 大濱信泉記念館多目的ホール 青色半導体レーザアニール中Si膜の温度分布解析
岡田竜弥神村盛太野口 隆琉球大SDM2015-14 OME2015-14
これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることで20-500 nm 厚のa-Si 膜が結晶化可能で... [more] SDM2015-14 OME2015-14
pp.53-55
OME, SDM
(共催)
2015-04-30
13:50
沖縄 大濱信泉記念館多目的ホール レーザーアニールによる低抵抗結晶化Si薄膜
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2015-15 OME2015-15
 [more] SDM2015-15 OME2015-15
pp.57-61
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:30
沖縄 沖縄県青年会館 O2混合Arスパッタにより室温成膜したSiO2膜の電気特性評価
井村公彦・○岡田竜弥下田清治杉原弘也野口 隆琉球大SDM2014-13 OME2014-13
フレキシブルディスプレイの作製において,良質の絶縁膜をプラスチックなどの低耐熱性基板上に形成することが求められる.本研究... [more] SDM2014-13 OME2014-13
pp.55-57
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
10:50
沖縄 沖縄県青年会館 BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT
下田清治杉原弘也井村公彦岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-14 OME2014-14
低コストでの製造プロセスによるpoly-Si TFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、... [more] SDM2014-14 OME2014-14
pp.59-61
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
11:10
沖縄 沖縄県青年会館 ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性
コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ知念 怜杉原弘也岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-15 OME2014-15
ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール(BLDA)を施したSi膜の光伝導性につ... [more] SDM2014-15 OME2014-15
pp.63-65
SDM 2013-12-13
13:00
奈良 奈良先端科学技術大学院大学 [招待講演]BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用
野口 隆岡田竜弥琉球大SDM2013-125
 [more] SDM2013-125
pp.55-59
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:15
沖縄 沖縄県青年会館 Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing
Tatsuya OkadaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTakuma NishinoharaTomoyuki MukaeKeisuke YagiTakashi NoguchiUniv. Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:30
沖縄 沖縄県青年会館 Characterization of Optimized Sputtered Poly-Si Films by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing for High Performance Displays
Takuma NishinoharaJ. D. MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaTakashi NoguchiUniv. of the Ryukyus
 [more]
SDM, ED
(共催)
(ワークショップ)
2012-06-27
17:45
沖縄 沖縄県青年会館 Effective Annealing of Si Films as an advanced LTPS
Takashi NoguchiTakuma NishinoharaJean de Dieu MugiranezaKatsuya ShiraiTatsuya OkadaUniv. Ryukyus
 [more]
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:10
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによる薄膜シリコンの結晶状態の制御
白井克弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ鈴木俊治岡田竜弥野口 隆琉球大)・松島英樹橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-7 OME2012-7
 [more] SDM2012-7 OME2012-7
pp.33-36
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
16:30
沖縄 沖縄県青年会館 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化
岡田竜弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ白井克弥鈴木俊治野口 隆琉球大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-8 OME2012-8
色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶... [more] SDM2012-8 OME2012-8
pp.37-39
SDM, OME
(共催)
2012-04-28
11:30
沖縄 沖縄県青年会館 RFスパッタ法により製膜したSiO2及びSiN薄膜の電気特性評価
屋宜佳佑岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2012-17 OME2012-17
RFスパッタリングによってSi基板上にSiO2、SiN膜を100 nm製膜した。その後、熱アニールを施し、アニール前後の... [more] SDM2012-17 OME2012-17
pp.75-77
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