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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2010-10-21 15:30 |
宮城 | 東北大学 | Yb混晶化PtSiの仕事関数変調機構 ○石川純平・高 峻・大見俊一郎（東工大）  SDM2010-154 |
極微細CMOSの拡散層における超低コンタクト抵抗の実現を目的として、Yb混晶化によるPtSiの仕事関数変調に関する検討を... [more] | SDM2010-154 pp.13-16 |
| SDM | 2010-10-21 16:10 |
宮城 | 東北大学 | Hf混晶化によるPtSiの高精度仕事関数制御に関する検討 ○高 峻・石川純平・大見俊一郎（東工大） SDM2010-155 |
[more] | SDM2010-155 pp.17-20 |
| ED, SDM (共催) |
2010-07-02 11:45 |
東京 | 東工大 大岡山キャンパス | Modulation of PtSi work function by alloying with low work function metal ○Jun Gao・Jumpei Ishikawa・Shun-ichiro Ohmi（Tokyo Inst. of Tech.） ED2010-91 SDM2010-92 |
[more] | ED2010-91 SDM2010-92 pp.173-176 |
| SDM | 2009-10-29 14:30 |
宮城 | 東北大学 | 2段階シリサイド化によるHf混晶化PtSiの耐熱性向上に関する検討 ○高 峻・石川純平・大見俊一郎（東工大） SDM2009-118 |
400℃/60 minで形成したPtxHfySiの耐熱性を改善するため、2段階シリサイド化プロセスに関する検討を行った。... [more] | SDM2009-118 pp.7-10 |
| SDM | 2008-10-10 13:30 |
宮城 | 東北大学 | Hf混晶化PtSiの仕事関数変調機構の検討 ○高 峻・石川純平・大見俊一郎（東工大） SDM2008-162 |
PtSiのn-Siに対する障壁高さを低減することを目的として、Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数変調に関する検討を行... [more] | SDM2008-162 pp.41-44 |
| SDM | 2007-10-05 14:25 |
宮城 | 東北大学 | Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数制御 ○大見俊一郎・高 峻・仲野雄介（東工大） SDM2007-189 |
Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数制御に関する検討を行った。Pt/Hf/n-Si(100)積層構造を形成後に、窒素中... [more] | SDM2007-189 pp.53-56 |
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