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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
VLD, DC, RECONF, ICD
(共催)
IPSJ-SLDM
(連催) [詳細]
2023-11-16
16:45
熊本 くまもと市民会館シアーズホーム夢ホール
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
0.18 µm BCDプロセスを用いたウェアラブル発汗量計測システムの作成とその高精度化への検討
峯尾俊作山本 歩信州大)・黒木伸一郎広島大)・百瀬英哉スキノス)・上口 光信州大VLD2023-57 ICD2023-65 DC2023-64 RECONF2023-60
本研究ではウェアラブル発汗量計測システムの作成,実測を行った.作成した発汗量計測システムは,肌表面に空気を流し,計測部前... [more] VLD2023-57 ICD2023-65 DC2023-64 RECONF2023-60
pp.140-145
SDM, OME
(共催)
2014-04-11
09:30
沖縄 沖縄県青年会館 ダブルラインビーム連続発振レーザラテラル結晶化による高性能poly-Si TFT
山野真幸黒木伸一郎佐藤 旦広島大)・小谷光司東北大)・吉川公麿広島大SDM2014-11 OME2014-11
 [more] SDM2014-11 OME2014-11
pp.45-49
SDM, OME
(共催)
2012-04-27
15:40
沖縄 沖縄県青年会館 [招待講演]ダブルラインビーム連続発振レーザラテラル結晶化によるシリコン薄膜の3軸結晶制御とTFT
黒木伸一郎東北大SDM2012-6 OME2012-6
Gaussianレーザスポットをもつ連続発振レーザラテラル結晶化により平均20×2μm2の粒径をもつpoly-Si薄膜を... [more] SDM2012-6 OME2012-6
pp.27-32
SDM 2010-10-22
11:10
宮城 東北大学 連続発振レーザー結晶化poly-Si TFTにおける内部歪と電子移動度の評価
藤井俊太朗黒木伸一郎小谷光司東北大SDM2010-162
連続発振レーザー結晶化によって形成したpoly-Si膜中には引っ張り歪が発生する。面内方向のX線回折測定から、表面側では... [more] SDM2010-162
pp.41-44
SDM 2010-10-22
11:40
宮城 東北大学 高性能LTPS-TFTのためのDouble-Line-Beam CLCによる高結晶配向Poly-Si薄膜形成
黒木伸一郎川崎雄也藤井俊太朗小谷光司東北大)・伊藤隆司東工大/広島大SDM2010-163
石英基板上にレーザ結晶化により3軸配向性の高いPoly-Si薄膜を形成した。連続発振レーザを用い、ビームスポットを、直線... [more] SDM2010-163
pp.45-48
SDM 2010-10-22
13:40
宮城 東北大学 Integration of Novel Non-porous Low-k Dielectric Fluorocarbon into Advanced Cu Interconnects
Xun GuTakenao NemotoYugo TomitaAkinobu TeramotoShin-Ichiro KurokiShigetoshi SugawaTadahiro OhmiTohoku Univ.SDM2010-165
 [more] SDM2010-165
pp.53-56
SDM 2009-10-29
16:45
宮城 東北大学 SOI基板を用いたSi-MESFETの電流電圧特性
阿部俊幸田主裕一朗黒木伸一郎小谷光司伊藤隆司東北大SDM2009-122
微細Si-MESFETについてシミュレーションを行い、新しいゲート構造によるゲートリーク電流の低減と、ダブルゲート構造に... [more] SDM2009-122
pp.27-30
SDM 2009-10-30
11:30
宮城 東北大学 ヒートガスアニールによるガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化
田主裕一朗河野陽輔黒木伸一郎小谷光司東北大)・村 直美山上公久古村雄二フィルテック)・伊藤隆司東北大SDM2009-128
ガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化のための新たな手法としてヒートガスアニール法を提案し実証した。ヒートガスアニール... [more] SDM2009-128
pp.47-50
SDM 2008-10-09
14:30
宮城 東北大学 エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化
沼田雅之黒木伸一郎藤井俊太朗小谷光司伊藤隆司東北大SDM2008-151
CWレーザアニールはガラス基板上でグレインサイズ20×2 µm2の大粒径poly-Si薄膜を得ることができ、... [more] SDM2008-151
pp.13-16
SDM 2007-10-04
16:55
宮城 東北大学 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調
黒木伸一郎小谷光司伊藤隆司東北大SDM2007-179
ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪... [more] SDM2007-179
pp.23-24
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