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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-12-17
14:50
京都 京都大学(桂) 超臨界水で酸化したSiC基板表面とその膜質評価
佐藤智久阪大)・二ツ木高志大江太郎オルガノ)・小松直佳木村千春青木秀充阪大SDM2010-196
 [more] SDM2010-196
pp.63-67
ED 2010-06-18
11:50
石川 北陸先端大 ウェトプロセスによるメタルゲートの光コロージョン
渡辺大祐ダイキン工業)・木村千春青木秀充阪大ED2010-46
次世代の高誘電率材料(High-K)ゲート絶縁膜とメタルゲート電極の構造(High-K/メタルゲート構造) における H... [more] ED2010-46
pp.69-74
ED 2010-06-18
12:15
石川 北陸先端大 メチルBCN膜の低温ドライエッチング評価
青木秀充原 誠増住拓朗呂 志明九鬼知博木村千春杉野 隆阪大ED2010-47
 [more] ED2010-47
pp.75-80
ED 2009-07-30
14:25
大阪 大阪大学(銀杏会館) 繊維状イオン交換膜を用いた有機酸センシング
大西将功堀田沙織青木秀充大見 剛阪大)・粂田和弘畑 康人ニチビ)・木村千春杉野 隆阪大ED2009-104
安全・安心に生活していく上で食品衛生管理、健康管理が、迅速かつ簡便に検知できるセンサーが求められている。我々は、これまで... [more] ED2009-104
pp.13-18
ED 2009-07-31
11:40
大阪 大阪大学(銀杏会館) 電磁場Cuめっきを用いた環境発電MEMS用マイクロコイルの作製プロセス
大井直樹青木秀充久保英太郎鄭 鍾ヒョン木村千春杉野 隆阪大ED2009-112
 [more] ED2009-112
pp.51-55
ED 2009-06-11
13:25
東京 東京工業大学 Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価
伊藤篤史原田 憲河瀬康弘水谷文一三菱化学)・原 誠青木秀充木村千春杉野 隆阪大ED2009-36
 [more] ED2009-36
pp.1-6
ED 2009-06-11
14:55
東京 東京工業大学 メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性
増住拓朗原 誠・○青木秀充呂 志明木村千 春杉野 隆阪大ED2009-39
 [more] ED2009-39
pp.15-20
ED 2008-06-13
14:15
石川 金沢大学 角間キャンパス ワイドバンドギャップ半導体用NドープAlSiO膜の特性評価
小松直佳田中裕崇青木秀充松之内恵子木村千春阪大)・奥村幸彦舞鶴高専)・杉野 隆阪大ED2008-25
現在のパワーデバイスは主にSiで作製されているが、Siパワーデバイスは物性で決まる理論的性能限界に近づいており、この限界... [more] ED2008-25
pp.17-22
SDM, R, ED
(共催)
2007-11-16
13:00
大阪 中央電気倶楽部 イットリウムアルミネート(YAlO)薄膜の電気的特性評価
松之内恵子小松直佳木村千春青木秀充杉野 隆阪大R2007-46 ED2007-179 SDM2007-214
ワイドバンドギャップ半導体を用いた高性能なハイパワーFETを実現するためには、バンドギャップが大きく、誘電率の高い絶縁膜... [more] R2007-46 ED2007-179 SDM2007-214
pp.1-6
SDM, R, ED
(共催)
2007-11-16
13:25
大阪 中央電気倶楽部 フッ化水素と有機溶媒の混合液を用いた積層メタルゲートのガルバニックコロージョン抑制
渡邊大祐青木秀充堀田沙織木村千春杉野 隆阪大R2007-47 ED2007-180 SDM2007-215
 [more] R2007-47 ED2007-180 SDM2007-215
pp.7-11
SDM, R, ED
(共催)
2007-11-16
13:50
大阪 中央電気倶楽部 高温高圧水中でのSiCおよびGaN表面の酸化処理
二ツ木高志阪大/オルガノ)・大江太郎オルガノ)・青木秀充小松直佳木村千春杉野 隆阪大R2007-48 ED2007-181 SDM2007-216
ワイドバンドギャップ化合物半導体のSiC, GaNに高性能なFETを作製するには良好な絶縁膜の形成が不可欠である。両材料... [more] R2007-48 ED2007-181 SDM2007-216
pp.13-17
ED, OME
(共催)
2007-09-21
15:25
福岡 九州工業大学 飯塚キャンパス 多孔質イオン交換体を用いた生体関連物質のセンシング
堀田沙織宮野一輝青木秀充阪大)・藤原信明増井昭彦阪府産技研)・矢野大作佐野和彦山中弘次オルガノ)・木村千春杉野 隆阪大ED2007-153 OME2007-40
 [more] ED2007-153 OME2007-40
pp.47-52
ED 2007-08-03
17:00
大阪 大阪大学 吹田キャンパス 銀杏会館 BCN薄膜をコーティングしたカーボンナノチューブのフィールドエミッション特性
木村千春由川 真青木秀充阪大)・堀川祐一瀧澤克雄ホリゾン)・杉野 隆阪大ED2007-143
カーボンナノチューブ(CNT)上に窒化ホウ素炭素(BCN)薄膜を作製し、フィールドエミッション特性を評価した。CNTのみ... [more] ED2007-143
pp.37-41
OME, ED
(共催)
2006-09-08
14:40
福岡 九州工業大学 多孔質イオン交換膜を用いたイオンセンシング評価
青木秀充宮野一輝木村千春杉野 隆阪大
 [more]
ED 2006-08-03
14:40
大阪 大阪大学 コンベンションセンター BNを成膜したCNTエミッタの電界放射特性
森久祐司小林 巧林 茂樹島津製作所)・秋田成司中山喜萬阪府大)・由川 真木村千春青木秀充杉野 隆阪大
 [more] ED2006-121
pp.21-26
ED 2005-12-22
12:45
東京 機械振興会館 触媒金属上に成長したBCNのフィールドエミッション特性
木村千春岡田邦孝阪大)・岡本幸一和田 優舞鶴高専)・青木秀充杉野 隆阪大
金属上に様々な温度においてBCN薄膜を作製し、BCN薄膜のフィールドエミッション特性を評価した。シリコン基板上のBCN薄... [more] ED2005-182
pp.1-6
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