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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2014-10-24
15:40
長野 信州大学工学部 地域共同研究センター3階研修 キャンパスマップ17番 HW-CVD法によるグラファイト上への3C-SiC薄膜の形成
阿部克也中村貴浩伊藤拳汰鈴木皓己信州大
 [more]
CPM 2014-10-24
17:00
長野 信州大学工学部 地域共同研究センター3階研修 キャンパスマップ17番 Cu/Al複合厚膜ターゲットを用いたスパッタ法による銅アルミニウム酸化物薄膜の形成と評価
阿部克也林田一希信州大
 [more]
CPM 2013-10-25
11:00
新潟 新潟大ときめいと SiCコーティングフィラメントを用いたHWCVD法によるSiC薄膜の低温形成と構造評価
阿部克也小澤勇斗山上朋彦信州大CPM2013-105
 [more] CPM2013-105
pp.59-62
CPM 2012-10-27
09:10
新潟 まちなかキャンパス長岡 コールドスプレー法により作製したCu/Alターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製
横本拓也荒井 崇小坂孝之岡島和希山上朋彦阿部克也榊 和彦信州大CPM2012-104
コールドスプレー法により作製したCu/Alターゲットを用いた
反応性スパッタリング法によりCuAlO$_{2}$薄膜の... [more]
CPM2012-104
pp.61-64
CPM 2012-08-08
13:00
山形 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 HWCVD法により低温形成したSiC薄膜の成長圧力依存性
阿部克也周 澤宇山上朋彦信州大CPM2012-33
 [more] CPM2012-33
pp.1-4
ED, SDM, CPM
(共催)
2012-05-18
10:50
愛知 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー 金属誘起結晶成長法によるSiC薄膜の低温結晶化の試み
阿部克也牛草遼平坂口優也周 澤宇山上朋彦信州大ED2012-30 CPM2012-14 SDM2012-32
 [more] ED2012-30 CPM2012-14 SDM2012-32
pp.63-66
CPM 2011-10-26
13:00
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO2薄膜の作製と構造評価
横本拓也前田洋輔宮澤 匠山上朋彦阿部克也信州大CPM2011-109
複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法を用いてCuAlO2薄膜の作製と構造評価を行った。
本研究での複合ターゲッ... [more]
CPM2011-109
pp.1-4
CPM 2011-10-27
09:30
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 SiCコーティングしたグラファイト触媒を用いたSiC薄膜の作製
坂口優也牛草遼平周 澤宇山上朋彦阿部克也信州大CPM2011-118
SiCコーティンググラファイト触媒を用いたHW-CVD法により、p-Si(001)及びガラス基板上へのSiC薄膜の低温形... [more] CPM2011-118
pp.47-50
CPM 2011-08-11
09:00
青森 弘前大学 文京町キャンパス 反応性スパッタ法によるCuAlO2薄膜の作製とアニール効果
阿部克也横本拓也前田洋輔宮澤 匠信州大CPM2011-66
 [more] CPM2011-66
pp.51-54
CPM 2010-10-28
15:15
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 反応性スパッタ法によるCuMO2薄膜の作製と評価
小川 翼横本拓也林部林平阿部克也信州大
 [more]
CPM 2010-10-29
09:00
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 グラファイト触媒を用いたHW-CVD法によるSiC薄膜の低温形成
坂口優也中村嘉孝有馬 潤森山和久林部林平阿部克也信州大CPM2010-99
グラファイト触媒を用いたHW-CVD法により、p-Si(001)及びガラス基板上へのSiC薄膜の低温形成を試みた。
原... [more]
CPM2010-99
pp.43-46
CPM 2010-07-29
13:30
北海道 道の駅しゃり 会議室 RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と熱処理効果の検討
小川 翼横本拓也林部林平山上朋彦阿部克也信州大
 [more]
CPM 2009-10-29
15:50
富山 富山県立大学 反応性RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と評価
小川 翼倉石央騎小林由貴山上朋彦林部林平阿部克也信州大
銅ターゲットとインジウムターゲットを組み合わせた複合ターゲットを用い、酸素を反応性ガスとした反応性RFマグネトロンスパッ... [more]
CPM 2006-11-09
15:45
石川 金沢大学 反応性スパッタ法によるAlN薄膜の作製とLD用サブマウントへの応用
塩野晃宏中久木政秀小林勲生山上朋彦林部林平信州大)・小畑元樹シチズンファインテック)・阿部克也上村喜一信州大
 [more] CPM2006-118
pp.31-35
ED, CPM, LQE
(共催)
2006-10-06
16:00
京都 京都大学 SiC表面の直接窒化とXPSによる窒化層の評価
山口哲生石田芳樹陳 晨萩原正宜林部林平山上朋彦阿部克也・○上村喜一信州大
 [more] ED2006-173 CPM2006-110 LQE2006-77
pp.113-116
CPM 2005-11-11
15:10
福井 福井大学 プラズマ窒化法による6H-SiC窒化絶縁膜の作製と評価
山口哲生劉 穎慎石田芳樹山上朋彦林部林平阿部克也上村喜一信州大
SiCのMOSデバイス応用において大きな問題となっている熱酸化膜中の炭素起因欠陥を抑制し,良質なMIS構造を形成すること... [more] CPM2005-156
pp.25-28
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