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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2023-10-13
15:10
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F [招待講演]電気特性計測プラットフォームを用いたランダムテレグラフの動作条件依存性の統計的解析
間脇武蔵黒田理人東北大SDM2023-57
我々はアレイテスト回路などから構成される測定システム全体を,電気特性計測プラットフォーム技術と呼称し,様々な半導体素子の... [more] SDM2023-57
pp.21-26
SDM 2022-10-19
11:10
ONLINE オンライン開催に変更 次世代メモリ用薄膜の統計的解析を行う高精度・広範囲抵抗測定技術
光田薫未天満亮介間脇武蔵黒田理人東北大SDM2022-55
本稿では様々な次世代メモリ向け薄膜を高精度・広範囲・統計評価可能な抵抗測定回路技術について報告する.本回路は,アレイ状に... [more] SDM2022-55
pp.5-8
SDM 2021-10-21
16:25
ONLINE オンライン開催 トランジスタ構造・動作領域・キャリア走行方向によるRTN挙動の統計的解析
秋元 瞭黒田理人間脇武蔵須川成利東北大SDM2021-52
 [more] SDM2021-52
pp.27-32
SDM 2021-06-22
13:10
ONLINE オンライン開催 [記念講演]イソプロピルアルコールを用いた金属銅及び酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大SDM2021-22
半導体製造工程における銅配線上での選択的形成プロセスに向けて,イソプロピルアルコール(IPA)を用いた酸化銅の還元反応と... [more] SDM2021-22
pp.1-6
SDM 2020-10-22
14:50
ONLINE オンライン開催 IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大SDM2020-19
半導体製造工程における銅配線上での選択的形成プロセスに向けて,イソプロピルアルコール(IPA)を用いた酸化銅の還元反応と... [more] SDM2020-19
pp.25-29
SDM 2020-10-22
15:50
ONLINE オンライン開催 統計的計測によるドレイン-ソース間電圧がランダムテレグラフノイズに与える影響の解析
秋元 瞭黒田理人東北大)・寺本章伸広島大)・間脇武蔵市野真也諏訪智之須川成利東北大SDM2020-21
本研究では, 長方形と台形のゲートを有する, 各11520個のトランジスタのランダムノイズ特性を測定し, 振幅や時定数と... [more] SDM2020-21
pp.34-39
SDM 2018-10-18
14:00
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F ソースとドレインが非対称のMOSFETを用いた電気的特性ばらつきの統計的解析
市野真也寺本章伸黒田理人間脇武蔵諏訪智之須川成利東北大SDM2018-62
高精度アナログデバイス回路の実現に支障をきたす,しきい値電圧ばらつきやランダムテレグラフノイズ(RTN)といったMOSト... [more] SDM2018-62
pp.51-56
SDM 2017-10-26
14:00
宮城 東北大学未来研 高精度アレイテスト回路計測技術を用いたソースフォロアトランジスタの動作条件変化によるランダムテレグラフノイズの挙動解析
市野真也間脇武蔵寺本章伸黒田理人若嶋駿一須川成利東北大SDM2017-60
CMOSイメージセンサ(CIS)の画素内ソースフォロアトランジスタ(SF)で発生するランダムテレグラフノイズ(RTN)に... [more] SDM2017-60
pp.57-62
SDM 2016-10-27
10:50
宮城 東北大学未来研 動作電圧変化時の過渡状態におけるランダムテレグラフノイズの挙動に関する研究
間脇武蔵寺本章伸黒田理人市野真也後藤哲也諏訪智之須川成利東北大SDM2016-75
MOSFETの微細化に伴い、RTN(Random Telegraph Noise)の影響が顕在化している。 RTNの発生... [more] SDM2016-75
pp.35-38
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