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SDM 2014-01-29
15:55
東京 機械振興会館 [招待講演]1.2μm裏面照射型イメージセンサにおける飽和信号増大と混色抑制のための三次元構造
篠原武一・○渡辺一史ソニーセミコンダクタ)・太田和伸ソニー)・中山 創ソニーセミコンダクタ)・森川隆史ソニー)・大野圭一杉本 大ソニーセミコンダクタ)・門村新吾平山照峰ソニーSDM2013-146
1.20μm裏面照射型CMOSイメージセンサに適用した二つの三次元画素構造、縦型転送ゲート(VTG)と埋め込み遮光メタル... [more] SDM2013-146
pp.47-50
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