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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2016-01-22
10:40
東京 東京大学 山上会館 [招待講演]常温12年応力変動の結果から銅配線のストレスマイグレーションメカニズムの再考
松山英也ソシオネクスト)・鈴木貴志中村友二富士通研)・塩津基樹江原英郎三重富士通セミコンダクターSDM2015-109
 [more] SDM2015-109
pp.5-8
SDM 2013-02-04
13:50
東京 機械振興会館 LSI配線構造中のCu/絶縁膜界面の結晶粒レベル局所強度に対応するサブミクロン機械工学への挑戦
神谷庄司佐藤 尚名工大)・大宮正毅慶大)・宍戸信之小岩康三西田政弘名工大)・中村友二鈴木貴志富士通研)・野久尾毅鈴木俊明日本電子専門学校SDM2012-153
構造物の対破壊信頼性確保は機械工学の基本的使命の一つである。エレクトロニクスデバイスもその例外ではないが、構造の3次元化... [more] SDM2012-153
pp.15-20
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