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SDM 2019-10-24
16:10
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F 高速ビデオカメラを用いたマグネトロンスパッタリングプラズマの揺動現象の観察
山崎森太郎後藤哲也鈴木 学黒田理人須川成利東北大SDM2019-67
 [more] SDM2019-67
pp.69-72
EMD 2009-12-18
14:30
千葉 千葉工業大学 津田沼キャンパス フッ素添加ECRスパッタカーボン薄膜の摩擦特性
鈴木 学鎌田智之東峰裕輔昼間 峻梅村 茂千葉工大)・廣野 滋MESアフティ)・東原秀和沖野不二雄服部義之信州大)・丹羽 修産総研)・刀 東風西安交通大EMD2009-109
筆者らは,ECRスパッタ法によって,導電性と高い耐摩耗性を備えたフッ素添加カーボン薄膜を作製した.このフッ素添加ECRス... [more] EMD2009-109
pp.17-20
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