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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
PRMU 2009-03-14
11:45
宮城 東北工業大 線形弁別特徴変換に関する研究
小倉将義高宮隆弘和田俊和和歌山大)・前田俊二酒井 薫日立PRMU2008-269
 [more] PRMU2008-269
pp.197-204
PRMU 2009-03-14
16:00
宮城 東北工業大 自己参照に基づくパターン欠陥検査法
淺海徹哉和田俊和和歌山大)・酒井 薫前田俊二日立PRMU2008-283
 [more] PRMU2008-283
pp.287-292
PRMU 2006-09-08
13:20
福岡 九大(大橋キャンパス) 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法
酒井 薫前田俊二日立
 [more] PRMU2006-69
pp.65-72
PRMU 2006-03-16
09:00
福岡 九大(福岡市東区) 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法
酒井 薫前田俊二日立
 [more] PRMU2005-233
pp.1-6
PRMU, NLC
(共催)
2005-09-21
10:00
東京 東大(本郷) 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法
酒井 薫前田俊二日立
半導体回路パターンの比較検査においては,規則的に形成されたパターンを撮像し,隣接するパターンの明るさの差が大きい部分を欠... [more] NLC2005-26 PRMU2005-53
pp.11-16
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