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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2005-11-12
10:15
福井 福井大学 3c-SiC/Si(111)構造基板上への高品質InN膜のMOVPE成長
趙 明秀小林隆弘澤崎尚樹橋本明弘山本あきお福井大)・伊藤慶文若狭湾エネルギー研究センター
Si(111)基板へのC+イオン注入により作製した3c-SiC/Si(111)構造基板上へMOVPE成長させたInN膜と... [more] CPM2005-164
pp.13-16
CPM 2005-11-12
10:40
福井 福井大学 3c-SiC/Si基板上へのGaN膜のMOVPE成長 ~ 基板表面の窒化処理効果 ~
澤崎尚樹小林隆弘趙 明秀橋本明弘山本あきお福井大)・伊藤慶文若狭湾エネルギー研究センター
Si基板へのC+イオン注入により作製した3c-SiC/Si基板上にMOVPE法を用いて成長させたGaN膜は凹凸の激しい表... [more] CPM2005-165
pp.17-20
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