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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
HWS, VLD
(共催)
2019-02-27
13:30
沖縄 沖縄県青年会館 SIM型SADPのための環状の配線経路を求める拡大手法
赤塚 駿藤吉邦洋東京農工大
高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類... [more] VLD2018-98 HWS2018-61
pp.31-36
CAS, SIP, MSS, VLD
(共催)
2018-06-15
15:25
北海道 北海道大学フロンティア応用科学研究棟 SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法
赤塚 駿藤吉邦洋東京農工大
高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類... [more] CAS2018-30 VLD2018-33 SIP2018-50 MSS2018-30
pp.155-160
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