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すべての研究会開催スケジュール (検索条件: すべての年度)
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| OME, SDM (共催) |
2024-04-20 16:10 |
鹿児島 | 奄美市アマホームプラザ | ［招待講演］反応性大気圧熱プラズマジェットを用いた有機薄膜の超高速エッチング技術 ○東 清一郎・松本響平・花房宏明（広島大）  SDM2024-6 OME2024-6 |
[more] | SDM2024-6 OME2024-6 pp.20-23 |
| SDM, OME (共催) |
2023-04-22 16:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
プラズマプロセス中のウェハ温度の非接触測定に向けた計測システムの開発 ○後藤隆之介・堀内憲志郎・Jiawen Yu・花房宏明・東 清一郎（広島大） SDM2023-17 OME2023-17 |
[more] | SDM2023-17 OME2023-17 pp.63-66 |
| OME, SDM (共催) |
2022-04-23 09:30 |
宮崎 | 高千穂ホール（宮崎市） （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
光学干渉非接触温度測定法(OICT)によるシリコンウェハ内部の過渡的熱拡散過程の三次元イメージング ○松口康太郎・藤本渓也・Yu Jiawen・花房宏明・佐藤拓磨・東 清一郎（広島大） SDM2022-8 OME2022-8 |
[more] | SDM2022-8 OME2022-8 pp.39-42 |
| OME | 2020-12-25 13:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
光学干渉非接触温度測定(OICT)を用いたシリコンウェハ内部の過渡的温度変化過程の測定 ○裏崎裕也・花房宏明・東 清一郎（広島大） |
独自に開発した光学干渉非接触温度測定(Optical-Interference Contactless Thermome... [more] | |
| OME, SDM (共催) |
2017-04-21 10:25 |
鹿児島 | 龍郷町生涯学習センター | 回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコンの大気圧熱プラズマジェット結晶化 ○中野 航・稗田竜己・花房宏明・東 清一郎（広島大） |
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| SDM | 2014-06-19 11:25 |
愛知 | 名古屋大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー | Ge基板中のAs高効率活性化と低抵抗浅接合形成 ○浜田慎也・村上秀樹・小野貴寛・橋本邦明（広島大）・大田晃生（名大）・花房宏明・東 清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大） SDM2014-48 |
Ge中でのAsの活性化率を向上させるために、Ge(100)に対して基板温度を-100~400°Cに制御してAs+イオン注... [more] | SDM2014-48 pp.27-30 |
| SDM, ED (共催) (ワークショップ) |
2012-06-27 18:00 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | Improvement of Low-Temperature-Deposited SiO2 and Si/SiO2 interface Properties by Thermal-Plasma-Jet Annealing and Heat Treatment in High-Pressure H2O Vapor ○Shunki Koyanagi・Shohei Hayashi・Tsubasa Mizuno・Kouhei Sakaike・Hiroaki Hanafusa・Seiichiro Higashi（Hiroshima Univ.） |
[more] | |
| SDM, ED (共催) |
2007-02-01 14:45 |
北海道 | 北海道大学 百年記念会館 | ［招待講演］SiGe系量子効果デバイス ～ 共鳴トンネルダイオード(RTD)とGeドットアレイ技術 ～ ○須田良幸・前川裕隆・佐野嘉洋・高橋陽一・小林忠正・花房宏明（東京農工大） |
地球資源的に有望なSi系材料を用いる次世代のナノデバイスとして，SiGe共鳴トンネルデバイス（RTD）および通信波長帯の... [more] | ED2006-243 SDM2006-231 pp.17-22 |
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