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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
OME 2017-12-01
09:20
佐賀 サンメッセ鳥栖 プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム
武田秀俊並木精密宝石)・土肥俊郎九大)・金 聖祐並木精密宝石)・會田英雄長岡技科大)・白谷正治九大OME2017-35
次世代半導体材料として知られるSiC,GaN,ダイヤモンドは,同時にCMP工程における超難加工材料としても知られている.... [more] OME2017-35
pp.1-6
OME 2017-12-01
11:20
佐賀 サンメッセ鳥栖 [招待講演]色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化
徐 鉉雄板垣奈穂古閑一憲白谷正治九大OME2017-41
色素増感太陽電池の対向電極は電解液との酸化還元反応の触媒として務め、太陽電池の性能に(特に、充填率に)重要な役割を果たす... [more] OME2017-41
pp.27-29
OME, SDM
(共催)
2017-04-20
14:10
鹿児島 龍郷町生涯学習センター 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用
古閑一憲徐 鉉雄板垣奈穂白谷正治九大SDM2017-2 OME2017-2
我々は、マルチホロー放電プラズマCVD法を開発し、サイズ・構造制御した結晶Siナノ粒子の連続作製に成功した。この方法では... [more] SDM2017-2 OME2017-2
pp.5-8
OME, SDM
(共催)
2017-04-21
10:00
鹿児島 龍郷町生涯学習センター GaN基板のプラズマ融合CMPプロセス ~ エタノールバブリング・Arプラズマを用いたプラズマ融合CMP特性とその評価 ~
山崎直樹九大/並木精密宝石)・土肥俊郎九大)・曾田英雄九大/並木精密宝石)・金 聖祐大山幸希並木精密宝石)・黒河周平九大)・佐野泰久阪大)・白谷正治山西陽子九大SDM2017-5 OME2017-5
 [more] SDM2017-5 OME2017-5
pp.19-23
OME, SDM
(共催)
2015-04-29
16:25
沖縄 大濱信泉記念館多目的ホール [招待講演]クラスタ除去によるa-Si太陽電池の光劣化抑制
白谷正治都甲 将鳥越祥宏毛屋公孝古閑一憲九大SDM2015-7 OME2015-7
本研究では,水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)薄膜太陽電池の最重要課題である光劣... [more] SDM2015-7 OME2015-7
pp.25-30
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