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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2021-06-22
13:10
ONLINE オンライン開催 [記念講演]イソプロピルアルコールを用いた金属銅及び酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大
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SDM 2020-10-22
14:50
ONLINE オンライン開催 IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質
間脇武蔵東北大)・寺本章伸広島大)・石井勝利東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・志波良信諏訪智之東北大)・東雲秀司清水 亮梅澤好太東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)・黒田理人白井泰雪須川成利東北大SDM2020-19
半導体製造工程における銅配線上での選択的形成プロセスに向けて,イソプロピルアルコール(IPA)を用いた酸化銅の還元反応と... [more] SDM2020-19
pp.25-29
SDM 2017-10-26
10:20
宮城 東北大学未来研 紫外吸光とチャージアンプ回路を用いた高感度・小型リアルタイムガス濃度計
石井秀和東北大)・永瀬正明池田信一フジキン)・志波良信白井泰雪黒田理人須川成利東北大SDM2017-56
半導体,パワーデバイス,LED,ディスプレイ等の電子デバイス製造プロセスにおいて,濃度制御製が困難な有機金属ガスが使用さ... [more] SDM2017-56
pp.35-38
SDM 2016-10-27
10:00
宮城 東北大学未来研 原子層堆積法で成膜したAl2O3膜界面に及ぼす酸化種の影響
齋藤雅也諏訪智之寺本章伸黒田理人幸田安真杉田久哉石井秀和志波良信白井泰雪須川成利東北大)・林 真里恵土本淳一キヤノンアネルバSDM2016-73
Al2O3はパワー半導体のゲート絶縁膜やMIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタへの応用が期待され... [more] SDM2016-73
pp.27-30
SDM 2011-10-21
15:25
宮城 東北大学未来研 高純度有機金属ガス供給システムに関する研究
山下 哲石井秀和志波良信北野真史白井泰雪須川成利大見忠弘東北大SDM2011-112
半導体製造プロセスにおいてプロセスガスの流量制御は基板表面におけるガス組成やチャンバ圧力を決定する重要なファクターである... [more] SDM2011-112
pp.85-90
SDM 2007-10-05
11:20
宮城 東北大学 減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発
鈴木克昌石原良夫迫田 薫大陽日酸)・白井泰雪平山昌樹寺本章伸大見忠弘東北大)・渡辺高行宇部マテリアルズSDM2007-184
 [more] SDM2007-184
pp.35-38
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