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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2015-03-02
13:35
東京 機械振興会館 [招待講演]選択成長を用いたCNTビアのインテグレーション
磯林厚伸和田 真伊東 伴斎藤達朗西出大亮石倉太志片桐雅之山崎雄一松本貴士北村政幸渡邉勝仁佐久間尚志・○梶田明広酒井忠司超低電圧デバイス技研組合SDM2014-167
塗布型カーボン犠牲膜をCMPする技術と、ビアホール側面をシーリングする技術を用いて、高い選択性を有するCNTビア形成プロ... [more] SDM2014-167
pp.29-32
ICD, SDM
(共催)
2012-08-03
09:25
北海道 札幌市男女共同参画センター [招待講演]ナノカーボン配線 ~ 微細金属配線代替を目指して ~
梶田明広和田 真斎藤達朗北村政幸山崎雄一片桐雅之伊東 伴西出大亮松本貴士磯林厚伸鈴木真理子坂田敦子渡邉勝仁佐久間尚志酒井忠司超低電圧デバイス技研組合SDM2012-78 ICD2012-46
LSIの高集積化・微細化の進展により、そこに使用される配線幅は10nm台となってきており、細線効果による金属配線材料の抵... [more] SDM2012-78 ICD2012-46
pp.83-87
ED, CPM, SDM
(共催)
2006-05-19
13:35
愛知 豊橋技術科学大学VBL n型ダイヤモンドショットキーダイオードおよび金属/ダイヤモンド界面の電気的特性
鈴木真理子東芝)・小泉 聡物質・材料研究機構)・片桐雅之筑波大)・小野富男佐久間尚志吉田博昭酒井忠司東芝
 [more] ED2006-37 CPM2006-24 SDM2006-37
pp.95-100
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