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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
US 2022-01-25
11:25
ONLINE オンライン開催 c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ
泉 航太柳谷隆彦早大US2021-59
(ご登録済みです.開催日以降に掲載されます) [more] US2021-59
pp.5-10
US 2021-11-26
13:50
ONLINE オンライン開催 PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング
佐藤裕友柳谷隆彦早大US2021-42
PZT薄膜やScAlN薄膜を用いたpMUTによるイメージングデバイスが多数報告されている。しかしpMUTは屈曲振動がゆえ... [more] US2021-42
pp.13-18
US 2021-11-26
14:15
ONLINE オンライン開催 スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ
岩田直也柳谷隆彦早大US2021-43
医療用超音波診断装置には電気機械結合係数 k33
2 が大きい PZT (Pb(Zr, Ti)O3)セラミックや PM... [more]
US2021-43
pp.19-24
US 2020-11-05
13:00
愛知 愛知工業大学 八草キャンパス 低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響
冨永卓海髙柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2020-43
ScAlN薄膜は,AlN 薄膜よりも非常に大きな圧電性を有すことから,弾性波デバイスへの応用が期待されている.ScAlN... [more] US2020-43
pp.1-6
US 2020-11-05
15:45
愛知 愛知工業大学 八草キャンパス AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較
五月女 巧柳谷隆彦早大US2020-49
移動体通信では大電力化していく傾向にあり、BAWフィルタへの大電力信号の投入は、二次高調波 (H2) 発生 (Secon... [more] US2020-49
pp.34-39
US 2020-09-28
14:25
ONLINE オンライン開催 レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス
木下紗里那早大/材研)・柳谷隆彦早大/材研/JST CRESTUS2020-35
無数の小型センサを散りばめるIoT社会には半永久的にワイヤレスで電源の供給をする技術が求められる。電波のエネルギーハーベ... [more] US2020-35
pp.45-50
US 2020-09-28
14:50
ONLINE オンライン開催 ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響
木原流唯早大)・高柳真司同志社大)・柳谷隆彦早大US2020-36
広帯域なBAWフィルタへの応用を目指して、大きな電気機械結合係数をもつScAlN圧電薄膜が注目されている。Scは酸化しや... [more] US2020-36
pp.51-56
US 2020-09-28
15:15
ONLINE オンライン開催 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較
龍見亮汰柳谷隆彦早大US2020-37
電気機械結合係数(kt2)は圧電薄膜デバイスの性能を決定づけるパラメータの1つである。例えば、kt2が大きいほど、スマー... [more] US2020-37
pp.57-60
US 2019-07-29
14:20
北海道 北海道大学 擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価
天野凌輔山川愉生早大/材研)・柳谷隆彦早大/材研/JSTさきがけUS2019-31
複素反射率測定法による液体試料の粘弾性評価では,基板-液体試料界面に入射するSH波の角度を大きくすることで測定感度の向上... [more] US2019-31
pp.19-23
US 2019-07-29
15:45
北海道 北海道大学 ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
宮田昌哉高柳真司松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大US2019-34
厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため,液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することがで... [more] US2019-34
pp.33-37
US 2018-11-02
15:20
愛知 愛知工業大学 石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜
篁 佑太同志社大)・高柳真司名工大)・松川真美同志社大)・柳谷隆彦早大US2018-68
弾性波の一つであるSH型SAWは,液体へのエネルギー漏洩が少なく,液体の粘度や導電率,誘電率を測定可能である.一方,高感... [more] US2018-68
pp.25-30
US 2018-10-04
10:50
宮城 東北大学 分極反転PZT/PTO薄膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子
清水貴博森 剛志柳谷隆彦早大US2018-51
 [more] US2018-51
pp.13-18
US 2018-10-04
11:15
宮城 東北大学 基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ~ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ~
戸塚 誠柳谷隆彦早大US2018-52
圧電薄膜を用いたBAW共振子の最終的な性能を決定付けるパラメータとして電気機械結合係数がある.電気機械結合係数(kt2)... [more] US2018-52
pp.19-24
US 2018-10-04
12:40
宮城 東北大学 c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価
山川愉生五月女 巧唐澤 嶺柳谷隆彦早大US2018-53
水晶振動子(QCM: Quartz Crystal Microbalance)を用いた液体の粘度評価において、測定感度を... [more] US2018-53
pp.25-29
US 2018-10-04
13:05
宮城 東北大学 c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
矢崎 花五月女 巧唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・吉田憲司千葉大)・柳谷隆彦早大US2018-54
小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効... [more] US2018-54
pp.31-35
US 2018-10-04
13:30
宮城 東北大学 製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ~ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ~
唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・遠藤結佳早大)・今川 誠森坂啓介鈴木 雄フルヤ金属)・柳谷隆彦早大US2018-55
 [more] US2018-55
pp.37-42
US 2018-05-21
15:20
東京 機械振興会館 レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子
唐澤 嶺柳谷隆彦早大US2018-15
 [more] US2018-15
pp.23-27
US 2018-05-21
15:45
東京 機械振興会館 周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子
清水貴博柳谷隆彦早大US2018-16
近年,移動体通信機器の周波数バンド数の増加に伴って,フィルタ搭載数が増加している.その解決策の1つとして,1つのフィルタ... [more] US2018-16
pp.29-34
US 2017-07-27
15:40
岡山 岡山大学 ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価
山川愉生佐野耕平唐澤 嶺早大)・柳谷隆彦早大/JSTUS2017-42
液体の緩和特性の研究には,試料に対するMHz帯からGHz帯までの周波数掃引が求められる.しかし,従来のセンサであるQCM... [more] US2017-42
pp.61-66
US 2017-07-27
16:40
岡山 岡山大学 コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化
川部昌彦同志社大)・柳谷隆彦早大)・柴垣慶明同志社大)・高柳真司名工大)・鈴木雅視早大)・松川真美同志社大US2017-44
Brillouin散乱法は薄膜や透明材料などの音速を非破壊・非接触で測定できる技術であり,数100MHz~GHz域の縦波... [more] US2017-44
pp.71-74
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