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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-11-12
11:20
東京 機械振興会館 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション
坪井秀行稲葉賢二伊勢真理子林 由紀江鈴木裕佳佐藤裕美小原幸子南雲 亮三浦隆治鈴木 愛畠山 望遠藤 明高羽洋充久保百司宮本 明東北大SDM2010-178
シリコン表面における酸化膜の形成メカニズムの解明,とくにドライ酸化・ウエット酸化・ラジカル酸化の初期過程における反応分子... [more] SDM2010-178
pp.41-43
SDM 2010-10-22
15:20
宮城 東北大学 自動化超高速化量子分子動力学法の開発とシリコン酸化膜形成の反応解析への応用
坪井秀行稲葉賢二伊勢真理子林 由紀江鈴木裕佳佐藤裕美小原幸子南雲 亮三浦隆治鈴木 愛畠山 望遠藤 明高羽洋充久保百司宮本 明東北大SDM2010-168
外部の量子化学計算プログラムを呼び出してエネルギー計算を行い得られた原子間エネルギーを元に分子動力学用ポテンシャルパラメ... [more] SDM2010-168
pp.67-68
SDM 2010-10-22
15:50
宮城 東北大学 自動化超高速化量子分子動力学法によるシリコン表面のドライ・ウェットおよびラジカル酸化反応シミュレーション
坪井秀行伊勢真理子林 由紀江鈴木裕佳佐藤裕美小原幸子稲葉賢二南雲 亮三浦隆治鈴木 愛畠山 望遠藤 明高羽洋充久保百司宮本 明東北大SDM2010-169
シリコン表面における酸化膜の形成メカニズムの解明,とくにドライ酸化・ウエット酸化・ラジカル酸化の初期過程における反応分子... [more] SDM2010-169
pp.69-70
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