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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2021-10-21
16:00
ONLINE オンライン開催 電流計測プラットフォームを応用したSiN膜中トラップ放電電流の統計的計測
齊藤宏河鈴木勇人朴 賢雨黒田理人東北大)・寺本章伸広島大)・諏訪智之須川成利東北大SDM2021-51
本稿では,$10^{-17}$ Aの高精度で絶縁膜に生じる電流を計測可能な電流計測プラットフォームを応用した,SiN膜中... [more] SDM2021-51
pp.23-26
SDM 2017-10-25
14:50
宮城 東北大学未来研 局所的ストレス誘起ゲートリーク電流の統計的分布の解析とSi表面平坦化工程による低減
朴 賢雨・○黒田理人後藤哲也諏訪智之寺本章伸木本大幾須川成利東北大SDM2017-51
3種の異なるゲートサイズを有する多数のnMOSトランジスタのストレス誘起ゲートリーク電流(Stress Induced ... [more] SDM2017-51
pp.9-14
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