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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2017-07-22
11:33
北海道 北見工業大学第一総合研究棟2F多目的講義室 [招待講演]薄膜電子材料開発のための低ダメージスパッタ成膜技術開発の歩み
星 陽一東京工芸大
著者は43年前に、始めてスパッタ法を用いてYIG膜の作製を試みる機会が与えられた。酸素負イオンや2次電子衝撃のために所望... [more] CPM2017-38
pp.89-94
HIP 2016-03-18
13:00
東京 東京工業大学 すずかけ台キャンパス MEMS技術を用いた指触覚呈示デバイスの設計と製作
足立丈宗松本康義猪俣泰気星 陽一曽根順治東京工芸大
現在, 指の皮膚内にある触覚器官へ直接情報を提示する多くのデバイスが研究されている. 超音波や振動などで擬似的に触覚情報... [more] HIP2015-96
pp.1-3
CPM 2015-11-06
14:35
新潟 まちなかキャンパス長岡 低ダメージスパッタ堆積プロセスを利用した有機EL素子用電極膜の作製
星 陽一濱口大地小林信一内田孝幸澤田 豊東京工芸大)・清水英彦新潟大
 [more] CPM2015-87
pp.19-22
HIP 2015-03-02
13:25
北海道 札幌市立大学 札幌駅前 サテライトキャンパス MEMS技術を用いた指触覚デバイスの設計と製作(第2報)
足立丈宗堀川祐樹星 陽一曽根順治東京工芸大
現在, 指の皮膚内にある触覚器官へ直接情報を提示する多くのデバイスが研究されており, 振動などで擬似的に触覚情報を提示す... [more] HIP2014-80
pp.7-10
CPM, ED, SDM
(共催)
2014-05-28
13:00
愛知 名古屋大学VBL3階 空気中で熱処理したTiN粉末の光触媒特性の評価
以西雅章山田良隆静岡大)・星 陽一東京工芸大
TiN粉末を空気中で熱処理して、その有機物分解能特性をメチレンブルーの分解特性で評価した。熱処理温度は、500、600、... [more] ED2014-20 CPM2014-3 SDM2014-18
pp.11-14
CPM 2013-08-01
15:45
北海道 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 スパッタ法による上部電極膜の作製が有機EL素子の動作特性に及ぼす影響
星 陽一小林信一内田孝幸東京工芸大)・清水英彦新潟大
有機EL素子においてスパッタ法を用いた上部電極膜の堆積が素子特性に及ぼす影響を調べた。その結果、?有機EL素子の作製では... [more] CPM2013-45
pp.29-34
SDM, ED, CPM
(共催)
2013-05-17
14:30
静岡 静大(浜松)創造科学技術大学院 CuとFeを担持したTiO2スパッタ薄膜の光触媒特性の評価
山田良隆渥美 剛白木 遼以西雅章静岡大)・安田洋司星 陽一東京工芸大
TiO2表面に、金属を担持すると、有機物分解能力が向上することが分かっている。今回は、銅(Cu)と鉄(Fe)をそれぞれT... [more] ED2013-32 CPM2013-17 SDM2013-39
pp.87-92
ED, SDM, CPM
(共催)
2012-05-18
15:15
愛知 豊橋技術科学大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー TiO2薄膜の光触媒特性向上のための助触媒効果
以西雅章中村郁太稗田祐貴深澤史也静岡大)・星 陽一東京工芸大
あらまし 本研究は、RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に銅と鉄を助触媒として担持することで光触... [more] ED2012-38 CPM2012-22 SDM2012-40
pp.105-109
CPM, SDM, ED
(共催)
2011-05-20
13:50
愛知 名古屋大学 VBL TiO2薄膜への安定した白金担持と光触媒特性
中村郁太佐藤孝紀以西雅章静岡大)・星 陽一東京工芸大
RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に白金を担持させ、光触媒特性を比較・評価した。白金を助触媒と... [more] ED2011-28 CPM2011-35 SDM2011-41
pp.139-143
CPM 2010-10-29
11:50
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 スパッタ法を用いた有機EL素子用低温堆積ITO薄膜の検討
中村陽平劉 暢清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大
本研究では,低温成膜したITO薄膜のデバイス応用への有効性を検討するため,アンバランスドマグネトロンスパッタ法に基板バイ... [more] CPM2010-105
pp.71-75
CPM 2010-07-29
14:20
北海道 道の駅しゃり 会議室 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討
清水英彦樫出 淳岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大
 [more] CPM2010-32
pp.5-9
SDM, CPM, ED
(共催)
2010-05-14
11:30
静岡 静岡大学(浜松キャンパス) 白金担持TiO2薄膜の生成と光触媒特性
中村郁太伊藤達也以西雅章静岡大)・星 陽一東京工芸大
本研究では, RFマグネトロンスパッタリング法により生成したTiO2薄膜に白金を担持することにより,光触媒特性の向上を図... [more] ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28
pp.61-64
ED, CPM, SDM
(共催)
2009-05-14
15:25
愛知 豊橋技科大サテライトオフィス RFマグネトロンスパッタリング法によるTiO2薄膜の生成と光触媒特性
伊藤達也遠藤立弥以西雅章静岡大)・境 哲也星 陽一東京工芸大
本研究では,RFマグネトロンスパッタリング法によるTiO2薄膜の低温生成について検討した.RFマグネトロンスパッタリング... [more] ED2009-22 CPM2009-12 SDM2009-12
pp.21-24
CPM 2008-10-30
14:55
新潟 新潟大学 SBD法を用いたAZO薄膜作製における特性の検討
本間拓也佐藤 薫下村健晴邵 力捷清水英彦岩野春男新潟大)・星 陽一東京工芸大
マグネトロンスパッタ(MS)法によりZnO 系透明導電膜を作製する場合の膜作製プロセスに起因する問題点を明らかにするため... [more] CPM2008-79
pp.23-28
CPM 2008-10-31
09:50
新潟 新潟大学 Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討
高橋沙季二木雅斗中村陽平清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大
本研究では,RF-DC結合形スパッタ法に,基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて,低温でITO膜を結晶化させる... [more] CPM2008-84
pp.53-58
CPM 2008-10-31
11:45
新潟 新潟大学 反応性高速スパッタ法により作製したTiO2薄膜の構造と光触媒特性
星 陽一石原太樹境 哲也雷 浩東京工芸大)・清水英彦新潟大
メタルモードで動作するTi原子供給用スパッタ源と、酸化物モードで動作する酸素ラジカル供給用のスパッタ源を組み合わせた反応... [more] CPM2008-88
pp.75-79
CPM 2007-11-16
13:45
新潟 長岡技術科学大学 低温成膜したITO薄膜を用いた有機EL素子の検討
中田悠介宮崎伸介梅津 岳伊藤嘉宏二木雅斗清水英彦丸山武男新潟大)・星 陽一東京工芸大)・皆川正寛日本精機
 [more]
CPM 2007-11-16
15:10
新潟 長岡技術科学大学 2スパッタ源反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の高速堆積
境 哲也神谷 攻・○星 陽一東京工芸大)・清水英彦新潟大
 [more] CPM2007-109
pp.23-27
CPM 2007-08-09
16:10
山形 山形大学 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討(II)
梅津 岳中田悠介清水英彦丸山武男岩野春男新潟大)・星 陽一東京工芸大
本研究では,高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に,基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて,... [more] CPM2007-42
pp.33-38
CPM 2006-11-09
13:30
石川 金沢大学 スパッタ法によるAZO薄膜の作製
川上 歩野口 亨東出陽幸宮崎紳介清水英彦丸山武男岩野春男川上貴浩新潟大)・星 陽一東京工芸大
 [more] CPM2006-113
pp.1-5
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