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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2012-11-16
13:00
東京 機械振興会館 立体構造シリコン中の熱輸送に関する分子動力学シミュレーション
図師知文早大/JST)・大毛利健治山田啓作筑波大/JST)・渡邉孝信早大/JSTSDM2012-108
ナノMOSFETにおいて形成されるとされる縦波光学(LO)フォノンが滞留した非平衡熱分布,いわゆるホットスポットの熱散逸... [more] SDM2012-108
pp.47-52
SDM 2011-07-04
11:20
愛知 名古屋大学(ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー) Siナノワイヤー、ナノレイヤの発光と界面
櫻井蓉子大毛利健治山田啓作筑波大)・角嶋邦之岩井 洋東工大)・白石賢二・○野村晋太郎筑波大SDM2011-56
発光顕微分光法によりSiナノワイヤー、ナノレイヤの発光特性を評価した.膜厚2.7~25.2 nmの極薄SOI試料の発光ス... [more] SDM2011-56
pp.35-39
SDM 2010-11-11
14:40
東京 機械振興会館 [招待講演]金属電極/高誘電率絶縁膜界面の物理を中心としたHigh-k/Metalゲートスタックの実効仕事関数変調機構の理解
細井卓治佐伯雅之喜多祐起奥 雄大有村拓晃北野尚武阪大)・白石賢二山田啓作筑波大)・志村考功渡部平司阪大SDM2010-175
p型電極/高誘電率絶縁膜ゲートスタックでは,電極材料がpoly-Siもしくは金属に関わらず,ソース/ドレイン活性化アニー... [more] SDM2010-175
pp.23-28
SDM 2010-06-22
10:20
東京 東京大学(生産研An棟) キャリア移動度評価によるシリコンナノワイヤトランジスタの電気特性解析
佐藤創志角嶋邦之パールハット アヘメト東工大)・大毛利健治早大)・名取研二岩井 洋東工大)・山田啓作早大SDM2010-35
高いON電流と低いOFF電流を併せ持つことによる低電源電圧・低消費電力デバイスとしてシリコンナノワイヤトランジスタ(Si... [more] SDM2010-35
pp.11-16
SDM 2008-12-05
13:15
京都 京都大学桂キャンパスA1-001 [招待講演]金属電極とハフニウム系高誘電率ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構
渡部平司喜多祐起細井卓治志村考功阪大)・白石賢二筑波大)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大SDM2008-188
 [more] SDM2008-188
pp.21-25
SDM 2006-06-21
14:55
広島 広島大学, 学士会館 低速陽電子ビームを用いたhigh-kゲート絶縁膜の空隙の評価
上殿明良大塚 崇伊東健一白石賢二山部紀久夫筑波大)・宮崎誠一広島大)・梅澤直人知京豊裕物質・材料研究機構)・大平俊行鈴木良一産総研)・犬宮誠治神山 聡半導体先端テクノロジーズ)・赤坂泰志東京エレクトロン)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2006-46
pp.25-30
SDM 2006-06-21
16:00
広島 広島大学, 学士会館 金属電極/High-k絶縁膜キャパシタのフラットバンド電圧特性に与える仕事関数変調及び熱処理の影響
大毛利健治物質・材料研究機構)・Parhat Ahmet東工大)・白石賢二筑波大)・渡部平司阪大)・赤坂泰志半導体先端テクノロジーズ)・山部紀久雄筑波大)・吉武道子物質・材料研究機構)・K. S. ChangM. L. GreenNIST)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大)・知京豊裕物質・材料研究機構
 [more] SDM2006-48
pp.37-41
SDM 2006-06-22
13:10
広島 広島大学, 学士会館 酸素雰囲気アニール中のHfO2/SiO2/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察
趙 明・○中嶋 薫鈴木基史木村健二京大)・植松真司NTT)・鳥居和功神山 聡奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2006-59
pp.99-102
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