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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2021-02-05
13:45
ONLINE オンライン開催 Co-Zr合金の単層バリア材料としての特性
山田裕貴矢作政隆小池淳一東北大SDM2020-56
本研究の目的は,Cu配線を圧迫する厚い二重構造のTaライナーとTaNバリアを,熱的に安定なアモルファス構造で,ライナーと... [more] SDM2020-56
pp.7-10
SDM 2021-02-05
14:05
ONLINE オンライン開催 TaN薄膜のバリア特性の限界
久家俊洋矢作政隆小池淳一東北大SDM2020-57
 [more] SDM2020-57
pp.11-14
SDM 2020-02-07
13:30
東京 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室(419号室) [特別招待講演]極微細配線の課題解決に向けた金属間化合物の可能性
小池淳一チェン リンハン東北大)・横川慎二電通大SDM2019-93
 [more] SDM2019-93
p.25
SDM 2019-10-24
09:30
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F [招待講演]NiAl as Cu alternative for ultrasmall feature sizes
Linghan ChenJunichi KoikeDaisuke AndoYuji SutouTohoku Univ.SDM2019-59
 [more] SDM2019-59
pp.29-33
SDM 2019-10-24
10:20
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F [依頼講演]Co/Si界面の酸化物層がショットキー障壁高さと接触抵抗に及ぼす影響
城戸光一佐藤 謙黒田理人安藤大輔須藤祐司小池淳一東北大SDM2019-60
 [more] SDM2019-60
pp.35-38
SDM 2018-10-17
16:35
宮城 東北大学未来情報産業研究館5F [招待講演]低抵抗アモルファス相と高抵抗結晶相を有するCr2Ge2Te6を用いた相変化メモリ
畑山祥吾須藤祐司安藤大輔小池淳一東北大SDM2018-56
相変化メモリは次世代型の不揮発性メモリとして注目されている. 現在, 実用化されている相変化材料はGe-Sb-Te化合物... [more] SDM2018-56
pp.21-26
SDM 2018-02-08
10:45
東京 東京大学/本郷 [招待講演]サブ10nmのFinFETにおける低コンタクト抵抗実現に向けたコバルト合金の特性
小池淳一マリャムサダト ホセイニ安藤大輔須藤祐司東北大
 [more]
SDM 2017-02-06
15:00
東京 東京大学/本郷 [招待講演]先端LSI配線におけるライナー・バリア機能を有する非晶質コバルト合金の特性
マリャムサダット ホセイニ小出紘之渡辺和樹安藤大輔須藤祐司・○小池淳一東北大
 [more]
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