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 9件中 1~9件目  /   
研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2009-06-19
15:10
東京 東京大学(生産研An棟) 低しきい値pMISFETに向けたAl2O3を堆積させたHfO2ゲート絶縁膜のアニールプロセスの検討
諸岡 哲松木武雄三瀬信行神山 聡生田目俊秀栄森貴尚奈良安雄由上二郎池田和人大路 譲半導体先端テクノロジーズ
Al2O3/HfO2/SiON構造ゲート絶縁膜を形成するためのアニールプロセスとVfb, EOT及びVtバラツキとの関係... [more] SDM2009-38
pp.67-70
SDM 2008-12-05
13:15
京都 京都大学桂キャンパスA1-001 [招待講演]金属電極とハフニウム系高誘電率ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構
渡部平司喜多祐起細井卓治志村考功阪大)・白石賢二筑波大)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2008-188
pp.21-25
ICD, SDM
(共催)
2008-07-17
09:00
東京 機械振興会館 (100), (110)基板上High-k/MetalゲートpMOSFETsのNBTIと1/fノイズ特性の相違に関する考察
佐藤基之杉田義博青山敬幸奈良安雄大路 譲半導体先端テクノロジーズ
(110) 基板は(100) 基板上と比較して正孔の有効質量が実効的に小さいことから大きな正孔移動度が得られる。しかしな... [more] SDM2008-128 ICD2008-38
pp.1-6
ICD, SDM
(共催)
2008-07-18
14:40
東京 機械振興会館 FSP-FLA(Flexibly-Shaped-Pulse FLA)による極浅接合形成とメタル/高誘電率絶縁膜デバイス特性の改善
鬼沢 岳加藤慎一青山敬幸奈良安雄大路 譲半導体先端テクノロジーズ
自由にパルス形状を変えることの出来るフラッシュランプアニール技術(FSP-FLA: Flexibly-Shaped-Pu... [more] SDM2008-146 ICD2008-56
pp.103-108
SDM 2008-06-10
10:30
東京 東京大学(生産研 An棟) Ru/HfSiONゲートスタックのバックサイドX線光電子分光分析 ~ Ruの実効仕事関数変化の起源 ~
森 大樹大田晃生吉永博路宮崎誠一広島大)・門島 勝奈良安雄半導体先端テクノロジーズ
厚さ1~6nmのSiO2もしくは厚さ0.7nmのSiON上に、~2.5nmのHfSiONを形成後、仕事関数制御メタルとし... [more] SDM2008-50
pp.47-52
SDM 2008-06-10
11:20
東京 東京大学(生産研 An棟) TiAlN/HfSiONゲートスタックにおけるX線光電子分光分析 ~ Al拡散による実効仕事関数変化の緩和 ~
大田晃生森 大樹吉永博路宮崎誠一広島大)・門島 勝奈良安雄半導体先端テクノロジーズ
厚さ~2.5nmのHfSiON膜をSiO2(~1nm)/Si(100)上に形成後、仕事関数制御メタルとして厚さ~30nm... [more] SDM2008-52
pp.59-64
SDM 2006-06-21
14:55
広島 広島大学, 学士会館 低速陽電子ビームを用いたhigh-kゲート絶縁膜の空隙の評価
上殿明良大塚 崇伊東健一白石賢二山部紀久夫筑波大)・宮崎誠一広島大)・梅澤直人知京豊裕物質・材料研究機構)・大平俊行鈴木良一産総研)・犬宮誠治神山 聡半導体先端テクノロジーズ)・赤坂泰志東京エレクトロン)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2006-46
pp.25-30
SDM 2006-06-21
16:00
広島 広島大学, 学士会館 金属電極/High-k絶縁膜キャパシタのフラットバンド電圧特性に与える仕事関数変調及び熱処理の影響
大毛利健治物質・材料研究機構)・Parhat Ahmet東工大)・白石賢二筑波大)・渡部平司阪大)・赤坂泰志半導体先端テクノロジーズ)・山部紀久雄筑波大)・吉武道子物質・材料研究機構)・K. S. ChangM. L. GreenNIST)・奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大)・知京豊裕物質・材料研究機構
 [more] SDM2006-48
pp.37-41
SDM 2006-06-22
13:10
広島 広島大学, 学士会館 酸素雰囲気アニール中のHfO2/SiO2/Si(001)界面反応の高分解能RBS観察
趙 明・○中嶋 薫鈴木基史木村健二京大)・植松真司NTT)・鳥居和功神山 聡奈良安雄半導体先端テクノロジーズ)・山田啓作早大
 [more] SDM2006-59
pp.99-102
 9件中 1~9件目  /   
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