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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2015-08-10
13:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性への基板バイアスの影響
土屋政人村上和輝佐藤達人高見貴弘遠田義晴中澤日出樹弘前大CPM2015-32
CH4、N2および希釈ガスとしてArを用い、基板バイアスにパルスバイアスを用いたRFプラズマCVD法により、基板パルスバ... [more] CPM2015-32
pp.7-10
CPM 2014-09-04
13:30
山形 山形大学工学部百年周年記念会館 セミナールーム1,2,3 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の特性評価
土屋政人真柄晃平徳田健吾中澤日出樹弘前大CPM2014-75
 [more] CPM2014-75
pp.1-5
 2件中 1~2件目  /   
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