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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
MW, ICD
(共催)
2015-03-05
16:35
福井 福井大学 [特別講演]2014年ヨーロッパマイクロ波会議出席報告
本良瑞樹東北大)・吉増敏彦早大)・満仲 健シャープ)・半谷正毅川崎健吾森本康夫樋口和英三菱電機
 [more] MW2014-215 ICD2014-128
pp.73-79
MW, ED
(共催)
2005-11-17
09:50
佐賀 佐賀大学 小型カンチレバー型MEMSスイッチの高周波特性
西野 有半谷正毅出尾晋一曽田真之介吉田幸久宮崎守泰三菱電機
シリコン基板に金メッキ技術とニッケルを犠牲層としたマイクロマシニング技術を用い,また,接点を駆動するバイアス電圧を高周波... [more] ED2005-159 MW2005-114
pp.11-14
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