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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2009-10-30
09:50
富山 富山県立大学 高濃度BドープSi/SiGeB多層膜の熱電特性
的場彰成佐々木公洋金沢大CPM2009-98
 [more] CPM2009-98
pp.43-46
CPM 2009-10-30
10:25
富山 富山県立大学 制限反応スパッタ法によるゲート絶縁膜用ZrO2薄膜のアニール効果の検討
猪阪直也周 英佐々木公洋金沢大CPM2009-99
 [more] CPM2009-99
pp.47-51
CPM 2006-11-10
09:00
石川 金沢大学 IBS法による歪Si作製に向けた歪緩和SiGeの表面ラフネス制御
山本 純坂口勇太成瀬公博佐々木公洋金沢大
 [more] CPM2006-122
pp.53-57
CPM 2006-11-10
09:25
石川 金沢大学 劣化エピタキシャル成長したSiGe薄膜の熱電性能 ~ 基板の影響 ~
的場彰成早平寿夫都築崇博佐々木公洋金沢大)・岡本庸一守本 純防衛大
 [more] CPM2006-123
pp.59-63
CPM 2006-11-10
10:50
石川 金沢大学 制限反応スパッタ法によるZrO2薄膜作製における成長遅れ時間
杉山英孝小島述央山岸大朗周 英佐々木公洋金沢大
 [more] CPM2006-126
pp.75-79
CPM 2006-11-10
11:15
石川 金沢大学 酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置
千葉 忍金沢大/CBC)・佐々木公洋金沢大)・元木 詮CBC)・畑 朋延JST)・伊藤昭彦芝浦メカトロニクス
 [more] CPM2006-127
pp.81-86
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