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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-10-22
11:40
宮城 東北大学 高性能LTPS-TFTのためのDouble-Line-Beam CLCによる高結晶配向Poly-Si薄膜形成
黒木伸一郎川崎雄也藤井俊太朗小谷光司東北大)・伊藤隆司東工大/広島大
石英基板上にレーザ結晶化により3軸配向性の高いPoly-Si薄膜を形成した。連続発振レーザを用い、ビームスポットを、直線... [more] SDM2010-163
pp.45-48
VLD, DC, IPSJ-SLDM
(連催)
ICD, CPM
(共催)
CPSY, RECONF
(併催) [詳細]
2009-12-02
11:00
高知 高知市文化プラザ Tailbiting BIPを用いたWiMAXターボデコーダ
新井宏明宮本直人小谷光司東北大)・藤澤久典富士通研)・伊藤隆司東北大
本稿では、WiMAX用ターボデコーダにおける高スループットと高いエネルギー効率を得るための方法としてTailbiting... [more] CPM2009-136 ICD2009-65
pp.13-18
SDM 2009-10-29
16:45
宮城 東北大学 SOI基板を用いたSi-MESFETの電流電圧特性
阿部俊幸田主裕一朗黒木伸一郎小谷光司伊藤隆司東北大
微細Si-MESFETについてシミュレーションを行い、新しいゲート構造によるゲートリーク電流の低減と、ダブルゲート構造に... [more] SDM2009-122
pp.27-30
SDM 2009-10-30
11:30
宮城 東北大学 ヒートガスアニールによるガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化
田主裕一朗河野陽輔黒木伸一郎小谷光司東北大)・村 直美山上公久古村雄二フィルテック)・伊藤隆司東北大
ガラス基板上の非晶質シリコン薄膜の結晶化のための新たな手法としてヒートガスアニール法を提案し実証した。ヒートガスアニール... [more] SDM2009-128
pp.47-50
SIS 2008-12-04
11:00
大阪 関西大学(千里山キャンパス) UHF帯RFID向け高効率差動型整流回路
佐々木敦史小谷光司伊藤隆司東北大
UHF帯RFID向けの高効率な差動型整流回路を実現した.この整流回路は差動信号により駆動し,ダイオードとして用いるMOS... [more] SIS2008-45
pp.17-21
SDM 2008-10-09
13:30
宮城 東北大学 ノンポーラスULK層間膜(フロロカーボン)へのダメージを抑制したCu-CMP後洗浄液の評価
谷 クン根本剛直寺本章伸伊藤隆司大見忠弘東北大
 [more] SDM2008-149
pp.1-6
SDM 2008-10-09
14:00
宮城 東北大学 高精度CMP終点検出方法の検討
谷 クン・○根本剛直東北大)・Ara PhilipossianYasa Adi SampurnoUniv. of Arizona/Araca)・Jiang ChengAraca)・Yun ZhuangUniv. of Arizona/Araca)・寺本章伸伊藤隆司大見忠弘東北大
 [more] SDM2008-150
pp.7-12
SDM 2008-10-09
14:30
宮城 東北大学 エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化
沼田雅之黒木伸一郎藤井俊太朗小谷光司伊藤隆司東北大
CWレーザアニールはガラス基板上でグレインサイズ20×2 µm2の大粒径poly-Si薄膜を得ることができ、... [more] SDM2008-151
pp.13-16
SDM 2007-10-04
16:55
宮城 東北大学 機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調
黒木伸一郎小谷光司伊藤隆司東北大
ペロブスカイト酸化物誘電体薄膜における歪印加効果について報告する。ペロブスカイト高誘電率薄膜において、不純物添加起因の歪... [more] SDM2007-179
pp.23-24
SDM 2007-10-05
10:55
宮城 東北大学 低誘電率アモルファスハイドロカーボン(aCHx)膜の銅配線バリアー特性の検討
石川 拓東京エレクトロン技研/東北大)・野沢俊久松岡孝明東京エレクトロン技研)・寺本章伸平山昌樹伊藤隆司大見忠弘東北大
近年、半導体デバイスの高集積化が進み、デバイスの高速動作の観点から配線のRC遅延を減少させるために低誘電率層間絶縁膜とC... [more] SDM2007-183
pp.31-34
ICD, SDM
(共催)
2006-08-17
14:20
北海道 北海道大学 RF-ID向けDickson Charge Pump整流回路における接合容量効果
坂井靖文小谷光司伊藤隆司東北大
 [more] SDM2006-134 ICD2006-88
pp.51-56
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