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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2010-12-17
17:25		 京都 京都大学(桂) 高圧水蒸気熱処理によるa-In2Ga2Zn1O7 TFTの特性改善効果
○丸山智己・藤井茉美（奈良先端大）・笠見雅司・矢野公規（出光興産）・堀田昌宏・石河泰明（奈良先端大）・浦岡行治（奈良先端大/JST） SDM2010-203		 非晶質酸化物半導体(a-IGZO)は，透明フレキシブル薄膜トランジスタ(TFT)を実現する上で，有用な材料である．a-I... [more] SDM2010-203
pp.99-102
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