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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
HWS, VLD
(共催)
2023-03-01
11:25
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
ガウス過程回帰に基づくLSIテストにおける適応的良品判定基準決定手法
五枝大典京都工繊大)・中村友紀梶山賀生栄木 誠ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)・新谷道広京都工繊大VLD2022-74 HWS2022-45
 [more] VLD2022-74 HWS2022-45
pp.7-12
HWS, VLD
(共催)
2023-03-02
13:25
沖縄 沖縄県青年会館
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[記念講演]Wafer-Level Characteristic Variation Modeling Considering Systematic Discontinuous Effects
Takuma NagaoNAIST)・Tomoki NakamuraMasuo KajiyamaMakoto EikiSony Semiconductor Manufacturing)・Michiko InoueNAIST)・Michihiro ShintaniKyoto Institute of TechnologyVLD2022-91 HWS2022-62
 [more] VLD2022-91 HWS2022-62
p.109
VLD, HWS
(共催) [詳細]
2022-03-08
09:55
ONLINE オンライン開催 製造装置に起因する不連続な特性ばらつきを考慮したウェハ空間特性ばらつきモデル化
長尾匠真奈良高専)・新谷道広奈良先端大)・山口賢一岩田大志奈良高専)・中村友紀梶山賀生栄木 誠ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)・井上美智子奈良先端大VLD2021-92 HWS2021-69
ウェハ面上に製造された集積回路(Large-scale integrated circuit,LSI)の性能を予測する統... [more] VLD2021-92 HWS2021-69
pp.87-92
CPM 2015-11-07
11:50
新潟 まちなかキャンパス長岡 金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH2Oビーム
寺口祐介田島諒一中村友紀高橋一匡玉山泰宏安井寛治長岡技科大CPM2015-100
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出,気相中で... [more] CPM2015-100
pp.75-79
EMD, CPM, OME
(共催)
2015-06-19
15:20
東京 機械振興会館 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性
寺口祐介田島諒一中村友紀高橋一匡玉山泰宏・○安井寛治長岡技科大EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出、気相中で... [more] EMD2015-16 CPM2015-26 OME2015-29
pp.29-34
OME, EMD, CPM
(共催)
2014-06-20
14:00
東京 機械振興会館 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いてサファイア基板上に成長したZnOエピタキシャル膜の結晶構造と転位分布
中村友紀石塚侑己山口直也玉山泰宏安井寛治長岡技科大EMD2014-16 CPM2014-36 OME2014-24
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の自己発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成し、気相中でアルキル亜鉛ガスと衝突させ高エ... [more] EMD2014-16 CPM2014-36 OME2014-24
pp.43-48
CPM 2013-08-02
10:00
北海道 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いてa面サファイア基板上に成長したZnOエピタキシャル膜の結晶構造
山口直也竹内智彦中村友紀大橋優樹永富瑛智玉山泰宏・○安井寛治長岡技科大CPM2013-49
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の自己発熱反応を利用して高温のH2Oを生成し、気相中でアルキル亜鉛ガスと衝突させ高エネルギ... [more] CPM2013-49
pp.51-56
EMD, CPM, OME
(共催)
2013-06-21
16:55
東京 機械振興会館 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いたZnO膜の成長 ~ ガラス基板上堆積膜の特性改善の試み ~
竹澤和樹中村友紀小柳貴寛加藤孝弘長岡技科大)・片桐裕則大石耕一郎神保和夫長岡高専)・安井寛治長岡技科大EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の自己発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと反応させ形成した高エネ... [more] EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46
pp.89-94
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