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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED, CPM, SDM
(共催)
2018-05-24
15:50
愛知 豊橋技科大VBL FZ-Siウエハにおける水素ドナーのアニール温度依存性
清井 明中村勝光三菱電機ED2018-19 CPM2018-6 SDM2018-14
水素ドナー(HD)の発生機構を明らかにするために,HDおよび格子間Si対の発生,消滅挙動のアニール温度依存性を調べた。水... [more] ED2018-19 CPM2018-6 SDM2018-14
pp.23-28
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