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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
VLD, DC, RECONF, ICD
(共催)
IPSJ-SLDM
(連催) [詳細]
2022-11-30
10:45
熊本 金沢市文化ホール
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
ボロノイ分割と繰り返し改善によるマスク最適化手法
野中尚貴小平行秀会津大)・高橋篤司東工大)・児玉親亮キオクシアVLD2022-41 ICD2022-58 DC2022-57 RECONF2022-64
製造プロセスの1 つである光リソグラフィの解像度を改善する技術のうち,ウェハ上に転写されるパタンの忠実性をマスク最適化に... [more] VLD2022-41 ICD2022-58 DC2022-57 RECONF2022-64
pp.127-132
VLD, DC, RECONF, ICD, IPSJ-SLDM
(連催)
(併催) [詳細]
2021-12-02
15:35
ONLINE オンライン開催 シミュレーテッド量子アニーリングを用いたマスク最適化手法
小平行秀中山晴貴野中尚貴会津大)・松井知己高橋篤司東工大)・児玉親亮キオクシアVLD2021-45 ICD2021-55 DC2021-51 RECONF2021-53
半導体プロセスの微細化のために,光リソグラフィ技術の進展が求められている.光リソグラフィの解像度を改善する技術のうち,ウ... [more] VLD2021-45 ICD2021-55 DC2021-51 RECONF2021-53
pp.162-167
HWS, VLD
(共催) [詳細]
2020-03-04
16:00
沖縄 沖縄県青年会館
(開催中止,技報発行あり)
ラグランジュ緩和法と境界Flippingによるプロセスばらつきを考慮したピクセルベースマスク最適化手法
東 梨奈小平行秀会津大)・松井知己高橋篤司東工大)・児玉親亮キオクシアVLD2019-105 HWS2019-78
製造プロセスの微細化のために,光リソグラフィによる半導体加工技術の進展が求められている.光リソグラフィの解像度を改善する... [more] VLD2019-105 HWS2019-78
pp.65-70
VLD, DC, IPSJ-SLDM, IPSJ-EMB
(連催)
CPSY, IPSJ-ARC
(連催)
ICD, IE
(共催)
RECONF
(併催) [詳細]
2019-11-15
16:35
愛媛 愛媛県男女共同参画センター 劣勾配法によるプロセスばらつきを考慮したマスク最適化手法
小平行秀東 梨奈会津大)・松井知己高橋篤司東工大)・児玉親亮キオクシアVLD2019-53 DC2019-77
製造プロセスの微細化のために,光リソグラフィによる半導体加工技術の進展が求められている.光リソグラフィの解像度を改善する... [more] VLD2019-53 DC2019-77
pp.197-202
VLD, DC, IPSJ-SLDM, IPSJ-EMB
(連催)
CPSY, IPSJ-ARC
(連催)
CPM, ICD, IE
(共催)
RECONF
(併催) [詳細]
2018-12-07
14:10
広島 サテライトキャンパスひろしま 0-1二次計画法によるプロセスばらつきを考慮したモデルベースマスク補正手法
東 梨奈小平行秀会津大)・松井知己高橋篤司東工大)・児玉親亮野嶋茂樹東芝メモリVLD2018-70 DC2018-56
半導体製造における回路パターンの限界寸法の縮小のため,光リソグラフィによる半導体加工技術の進歩が求められている.光リソグ... [more] VLD2018-70 DC2018-56
pp.209-214
NS, IN
(併催)
2016-03-04
09:50
宮崎 フェニックス・シーガイア・リゾート(宮崎) ノード故障時においても最大連結成分占有率を維持するための保護ノード決定法
松井知美巳波弘佳関西学院大NS2015-214
 [more] NS2015-214
pp.267-272
NS, IN
(併催)
2015-03-02
09:50
沖縄 沖縄コンベンションセンタ 複数ノード破壊に耐性のある保護ノード決定のための多項式時間近似アルゴリズム
松井知美巳波弘佳関西学院大NS2014-186
インターネットが普及して重要な社会基盤となるにともない,故障の影響を最小限に抑えた信頼性の高いネットワークの構築および運... [more] NS2014-186
pp.59-64
VLD, IPSJ-SLDM
(連催)
2014-05-29
09:55
福岡 北九州国際会議場 11会議室 [招待講演]半正定値緩和を用いたマルチパターニングリソグラフィ
松井知己東工大VLD2014-4
リソグラフィ技術の一つであるマルチパターニングリソグラフィにおいて解かれる,レイアウトを2つあるいは3つのマスクに分割す... [more] VLD2014-4
p.19
VLD, IPSJ-SLDM
(連催)
2014-05-29
11:30
福岡 北九州国際会議場 11会議室 半正定値緩和法を用いたLELECUTトリプルパターニングのためのレイアウト分割手法
小平行秀会津大)・松井知己東工大)・横山陽子児玉親亮東芝)・高橋篤司東工大)・野嶋茂樹田中 聡東芝VLD2014-6
次世代リソグラフィ技術として,2つのマスクをパタン形成のために,3つ目のマスクを形成したパタンを削除するためのカットとし... [more] VLD2014-6
pp.27-32
NS, IN
(併催)
2014-03-07
10:40
宮崎 宮崎シーガイア 複数ノード破壊によるネットワーク分断に耐性のあるネットワーク設計のための保護ノード決定法
松井知美巳波弘佳関西学院大NS2013-239
インターネットが普及して重要な社会基盤となるにともない,故障の影響を最小限に抑えた信頼性の高い ネットワークの構築および... [more] NS2013-239
pp.361-366
VLD 2014-03-04
13:50
沖縄 沖縄県青年会館 ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法
宮辺祐太郎高橋篤司松井知己東工大)・小平行秀会津大)・横山陽子東芝VLD2013-149
最先端の半導体製造プロセスでは,デザインルールに従いパターンを生成してもリソグラフィーシミュレー
ションによってホット... [more]
VLD2013-149
pp.87-92
NS, IN
(併催)
2013-03-08
13:20
沖縄 残波岬ロイヤルホテル ノード破壊によるネットワーク分断を抑制する保護ノード決定法
松井知美山本真也巳波弘佳関西学院大NS2012-266
インターネットが普及して重要な社会基盤となるにともない,故障の影響を最小限に抑えた信頼性の高い ネットワークの構築・運用... [more] NS2012-266
pp.589-594
COMP 2010-06-25
10:05
東京 東工大 木における消防士問題に対する近似アルゴリズムの改良
岩井川 裕・○神山直之松井知己中大COMP2010-16
 [more] COMP2010-16
pp.9-12
COMP 2004-10-14
16:15
宮城 東北大学 閉ジャクソンネットワークに対するパーフェクトサンプリング法
来嶋秀治松井知己東大
本稿では閉ジャクソンネットワークに対するパーフェクトサンプリング法を提案する。提案するアルゴリズムはマルコフ連鎖を用いた... [more] COMP2004-42
pp.55-59
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