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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM, LQE, ED
(共催)
2019-11-21
13:20
静岡 静岡大学(浜松) ICP-RIEによって作製されたGaNトレンチ側壁のダメージ評価
山田真嗣櫻井秀樹名大/アルバック)・長田大和中村敏幸上村隆一郎アルバック)・須田 淳加地 徹名大ED2019-40 CPM2019-59 LQE2019-83
GaN系トレンチゲート縦型パワー半導体デバイスを実現するための要素プロセス技術の一つである誘導結合型プラズマ反応性イオン... [more] ED2019-40 CPM2019-59 LQE2019-83
pp.33-35
WPT, EE
(併催)
2018-10-03
09:55
京都 京都大学宇治キャンパス 無線電力伝送用リセスゲートFET型GaNダイオード整流器
角野純平池戸雄哉名工大)・長田大和上村隆一郎アルバック)・分島彰男名工大WPT2018-30
マイクロ波無線電力伝送用ダイオードの大電力化に向けて、リセスゲートFET型GaNダイオード整流器の検討を行った。まずは、... [more] WPT2018-30
pp.5-9
LQE, CPM, ED
(共催)
2017-12-01
10:55
愛知 名古屋工業大学 フォトニック結晶深紫外LEDの実現 ~ p型コンタクト層における高反射型フォトニック結晶によるAlGaN深紫外LEDの外部量子効率10%動作 ~
鹿嶋行雄丸文)・前田哲利理研)・松浦恵里子丸文)・定 昌史理研)・岩井 武森田敏郎東京応化)・小久保光典田代貴晴東芝機械)・上村隆一郎長田大和アルバック)・倉島優一高木秀樹産総研)・平山秀樹理研ED2017-60 CPM2017-103 LQE2017-73
 [more] ED2017-60 CPM2017-103 LQE2017-73
pp.55-60
LQE, ED, CPM
(共催)
2014-11-27
14:05
大阪 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 窒化物LED高効率化のためのナノインプリントとドライエッチングによる微細加工制御技術
鹿嶋行雄松浦恵里子丸文)・嶋谷 聡東京応化)・小久保光典田代貴晴大川貴史東芝機械)・上村隆一郎長田大和アルバック)・藤川紗千恵平山秀樹理研ED2014-79 CPM2014-136 LQE2014-107
フォトニック結晶を窒化物LEDに形成し、光取出し効率を向上した結果を示す。また、シミュレーションによるフォトニック結晶の... [more] ED2014-79 CPM2014-136 LQE2014-107
pp.27-32
LQE, ED, CPM
(共催)
2014-11-27
14:55
大阪 大阪大学 吹田キャンパス 理工学図書館 ウエットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製
金沢裕也豊田史朗大島一晟埼玉大/理研)・鎌田憲彦埼玉大)・鹿嶋行雄松浦恵里子丸文)・嶋谷 聡東京応化)・小久保光典田代貴晴東芝機械)・大川貴史上村隆一郎長田大和アルバック)・平山秀樹理研ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109
 [more] ED2014-81 CPM2014-138 LQE2014-109
pp.39-44
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