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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-02
14:25
新潟 まちなかキャンパス長岡 ケイ素及び窒素を添加したDLC薄膜の熱的安定性
中澤日出樹中村和樹長内公哉郡山春人小林康之遠田義晴鈴木裕史弘前大)・末光眞希東北大
希釈ガスにH_(2)を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したケイ素及び窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン(Si... [more] CPM2018-52
pp.99-104
CPM 2018-08-09
14:30
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si添加DLC薄膜への窒素添加の効果
中村和樹大橋 遼弘前大)・横山 大田島圭一郎遠藤則史末光眞希東北大)・遠田義晴小林康之鈴木裕史・○中澤日出樹弘前大
希釈ガスにH_2を用いたプラズマ化学気相成長法により作製したSi添加DLC(Si-DLC)薄膜の化学結合状態、電気的・光... [more] CPM2018-8
pp.1-6
CPM 2018-08-09
14:50
青森 弘前大学文京町地区キャンパス SiC/AlN/Si(110)基板上グラフェンの成長
中澤日出樹成田舜基奈良友奎遠田義晴弘前大
3ºオフ角を有するSi(110)基板上に、レーザーアブレーション法を用いて様々な成長条件でAlN薄膜を作製した結果、レー... [more] CPM2018-9
pp.7-12
CPM 2018-08-10
11:05
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Si基板上SiO2薄膜の電子線照射による還元反応
藤森敬典千田陽介増田悠右氏家夏樹遠田義晴弘前大
20 nm~100 nm厚のSiO_{2}膜を有するSi(100)表面に様々な条件で電子線照射し、その後フッ酸処理や真 ... [more] CPM2018-18
pp.47-52
CPM 2018-08-10
11:25
青森 弘前大学文京町地区キャンパス Zr系金属ガラス表面の元素組成と化学結合状態
郡山春人藤森敬典遠田義晴弘前大)・富樫 望アダマンド並木精密宝石
Zr系金属ガラスであるVit 105合金(Zr_{52.5}Cu_{17.9}Ni_{14.6}Al_{10}Ti_{5... [more] CPM2018-19
pp.53-56
CPM 2015-08-10
13:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 高周波プラズマ化学気相成長法による窒素添加DLC薄膜の膜特性への基板バイアスの影響
土屋政人村上和輝佐藤達人高見貴弘遠田義晴中澤日出樹弘前大
CH4、N2および希釈ガスとしてArを用い、基板バイアスにパルスバイアスを用いたRFプラズマCVD法により、基板パルスバ... [more] CPM2015-32
pp.7-10
CPM 2015-08-11
11:40
青森 弘前大学 文京町地区キャンパス 総合教育棟 シリコン酸窒化膜の内殻準位異常シフトに対する表面吸着種の影響
高見貴弘和田 誠遠田義晴弘前大
特定の条件下で形成されたシリコン酸窒化膜(SiON膜)において、X線光電子分光の内殻準位スペクトルの化学シフトピーク位置... [more] CPM2015-45
pp.71-74
CPM 2011-08-11
09:50
青森 弘前大学 文京町キャンパス シリコン酸化膜の不均一な熱分解
遠田義晴小川可乃永井孝幸弘前大
Si(100)基板上に形成された20nm膜厚のシリコン熱酸化膜を,真空中1100℃で加熱し,これにより生ずる酸化膜の熱分... [more] CPM2011-68
pp.61-64
CPM 2009-08-10
16:30
青森 弘前大学 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
遲澤遼一中澤日出樹奥崎知秀佐藤直之遠田義晴弘前大)・末光眞希東北大
KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(diamond-li... [more] CPM2009-37
pp.19-24
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